洁净室压差（Pa）

有外窗密封较差

有外窗密封较好

无外窗土建式

5

0.9

 0.7

 0.6

10

1.5

1.2

1.0

15

2.2

1.8

1.5

20

3.0

2.5

2.1

25

3.6

3.0

2.5

30

4.0

3.3

2.7

35

4.5

3.8

3.0

40

5.0

4.2

3.2

45

5.7

4.7

3.4

50

6.5

5.3

3.6