什么是压差，测洁净室压差有什么用？

压差此项参数的物理意义并不复杂。洁净度较高的洁净室内的气压应高于洁净度较低的洁净室的气压，以便外部的污垢不致侵入。用于危险物品作业的洁净室应视作例外。对于后者，必须采用负压，即工作区的气压应低于周围环境。

标准和规范都对压差提出要求。一般说来，小于SPa的压差是毫无意义的，因为难以阻止空气回流，压差大于20-25Pa（隔离工艺除外）是不合理的，因为并不能改善洁净室的特性，反而浪费资金。此外，压差超过25Pa，会使门开关困难。气压过高，会在气流高速通过不同缝隙或其！泄漏处时会产生噪声。

压差值应足够大并要稳定，避免意外的相对气流。

在标准和规范中提出了下列压差值。

FOCT P HC014644-1。不同洁净度的相邻 洁净室和洁净区之间的压差一般应在-20Pa范围内。需要认真考虑，是否只采用压差措施，还是要与其它措施综合使用，以控i污染。

GMP EC规程 过滤空气保证系统应保证正压（相对于较低级别周围区域），并在所有塞作条件下保持适当的气流，使空气有效地绕流过受控区。不同类型的相邻洁净室应保持0-15Pa的压差。

GMP EC规程也要求在各区之间的不能忽略压差之处安装压差传感器。应定期记录下压主数据或以其它方式进行书面记录。

压差是否符合规范能直接证明洁净室工作是否正常。因此，采用目视显示器连续监控，i中在压差不正常下降时发出某种形式的报警信号等都是非常重要的。在空气处理系统中应设呈自动调节装置，以保证压差的稳定。

可采用更简单的方案--安装简便的指示式压差传感器，例如Dwyer Magnehelic公词内差压计连续控制和记录压差，可反映出该项参数的变化性质。压差平均值下降趋势预示着出现故障。

在此情况下，要查找洁净室参数恶化的原因，并加以消除。最好给出三种压差值水平：

正常的；预警，表示需要分析洁净室的工作状态，及时采取措施；报警，此时需要即时行动。

这种做法对控制其它参数也是有用的，因为分析这些参数可以及时预报设备的逐步失效。