无尘室洁净度检测标准参考

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2014年02月24日  点击数:7375
1 目的

   规定无尘室洁净区的控制指标和检测方法,有效的控制十万级和三十万级洁净区环境的洁净度,满足生产环境的要求。


2 范围

   本规程适用本公司十万级和三十万级洁净区环境的洁净度检验。

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3 检验方法

3.1 检验项目

   温度、湿度、压差、风速(换气次数)、尘埃粒子数、菌落数


3.2 温度、湿度

3.2.1 要求

   十万级/三十万级洁净区温度(18-26)℃,相对湿度(45-65)%

3.2.2 仪器与设备

   温湿度计

3.2.3 操作方法

   目测温湿度计。

3.2.4 测定频次 

1次/班。


3.3 静压差

3.3.1 要求

洁净室与室外压差≥10Pa,洁净室与非洁净室≥5Pa不同级别洁净室之间≥5Pa。

3.3.2 仪器与设备:补偿式微压计

3.3.3 操作方法

   用补偿式微压计测试各室的静压力,由两室静压力之差,为静压差。

3.3.4 测定频次:1次/月


3.4 换气次数

3.4.1 要求

   十万级洁净区换气次数>15次

三十万级洁净区换气次数>12次

3.4.2 仪器与设备:热球式电风速计。

3.4.3 操作方法距风口下25cm处测量

3.4.3.1 用风速计风速,采样点为风口的四个顶角及中心位置(不少于5点)。计算5个点风速平均值。为一个风口的风速。

3.4.3.2 换算公式:

                  ∑(高效风口风速×高效风口面积)

    换气次数= ──────────────────

                              被测间体积

3.4.4 测定频次:1次/月


3.5 尘埃粒子数

3.5.1 要求

十万级洁净区尘埃粒子数: ≥0.5μm:≤3500个/L

                         ≥5.0μm:≤20个/L

三十万级洁净区尘埃粒子数:≥0.5μm:≤10500个/L

≥5.0μm:≤60个/L

3.5.2 仪器与设备:尘埃粒子计数仪

3.5.3 采样点

根据洁净室面积,要求最少采样点见下表:

面积,(m2)

洁净度级别

10000

100000

300000

≤10

≥10~<20

≥20~<40

≥40~<100

≥100~<200

≥200~<400

≥400~<1000

≥1000~<2000

≥2000

2

2

2

4

10

20

40

100

200

2

2

2

2

3

6

13

32

63


3.5.4 操作方法

用尘埃粒子计数仪在高度1米水平面上的位置采样,每层采样点不少于5点,每个采样点采样次数不少于5次。采样点见附件1。  


3.5.5 换算公式


             5次测量数的总和

尘埃粒子数= ─────────

                   5

3.5.6 测定频次 :1次/季


3.6 菌落数

3.6.1 要求

  浮游菌 十万级洁净区含菌浓度≤500个/m3

  沉降菌 十万级洁净区含菌浓度≤10个/皿

          三十万级洁净区含菌浓度≤15个/皿


3.6.2 检测方法

按《微生物检验规范》的规定进行。

3.6.5 测定频次:浮游菌 1次/季;沉降菌 1次/周


4 测定条件

4.1 当新洁净区投入使用前,进行一次静态环境监测,监测时,洁净区内所有物品均应到位,检测区内只留检测人员,检测结果应符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1条的要求。如不合格应重新对净化系统进行检查,查找原因,进行整改后,再进行检测,合格后方可投入使用,否则不得进入生产。

4.2 所有在用洁净区,按本规程的要求进行动态检测,检测结果应符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1条的要求。如不合格由技术品质部告知生产部,通知超标车间停产,由生产部、技术品质部、生产车间组织人员查找原因,进行整改后,再进行检测,合格后方可投入使用。


附件1 尘埃粒子检测点

附件2 沉降菌检测点

附件3 浮游菌检测点


原文链接:http://www.iwuchen.com/a-795/

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