无尘室内温度是指室内环境空气的温度,单位以摄氏度(℃)表示。可以使用玻璃温度计、数字式(包括热电偶、热电阻、半导体式)温度计测定室内温度,也可以使用干湿球湿度计、数字式湿度计和风速计所附的温度计。要求温度计测试范围应在-10℃至50℃,准确度为±0.3℃。
注意
1) 读数时视线必须与标尺垂直,并与液柱面处于同一水平面。
2) 读数时不可用手摸标尺或将温度计取出插孔,更不允许用手握住温包来读数,否则将造成极大的误差。
湿度是指空气中水分的含量。有两种表示方法:(1)绝对湿度:单位体积空气中所含水气的质量;(2)相对湿度(RH):空气中实际水气压与同一温度条件下饱和水气压之比值,单位用%表示。湿度一般用相对湿度表示。相对湿度可以使用干湿球温度计、氯化锂露点式湿度计、电容式数字湿度计测定,要求湿度计测试范围应在12%至99%,准确度为±0.3%。
使用方法参见所用仪器的使用说明书。
室内外温差、压差、人工通风、空调、室内热源等都可引起空气流动,同室外气流一样对污染物有稀释和扩散作用。空气流速可用热球式电风速计和热线式电风速计测量,要求风速计测试范围应在0.01 m/s至20m/s,准确度为±5%。
使用方法参见仪器使用说明书。
(一)原理
采用示踪气体浓度衰减法。在待测室内通入适量示踪气体,由于室内、外空气交换,示踪气体的浓度呈指数衰减,根据浓度随时间的变化值,计算出室内的新风量。
(二)仪器和材料
1) 袖珍或轻便型气体浓度测定仪。
2) 尺、摇摆电扇。
3) 示踪气体:无色、无味、使用浓度无毒、安全、环境本底低、易采样、易分
析的气体。
表2示踪气体环境本底水平及安全性资料
气体名称 |
毒性水平 |
环境本底水平,mg/m3 |
一氧化碳 |
人吸入50 mg/m31h无异常 |
0.125~1.25 |
二氧化碳 |
车间最高容许浓度9000 mg/m3 |
600 |
六氟化硫 |
小鼠吸入48000 mg/m34h无异常 |
低于检出限 |
一氧化氮 |
小鼠LC501090 mg/m3 |
0.4 |
八氟环丁烷 |
大鼠吸入80%(20%氧)无异常 |
低于检出限 |
三氟溴甲烷 |
车间标准6100 mg/m3 |
低于检出限 |
a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备,尤其须注意活动部分之发尘。
b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因,故应配备过滤装置。
d.规划各设备之配置空间时,事先宜考虑不易积累微尘之结构,规划各并以容易清洁为原则。
e.真空泵等容易产生污染物的这类设备,应设置在无尘室外面或回风区,并加装排气管线排气。
f.设置给水管线、气体管线和电气系统时,其构造须考虑到容易清洁,不易积累污染物。
g.生产及相关设备应定期清扫,以避免微尘之堆积。
h.应加强注意室内的温湿度控制,避免因湿度之不当造成结露生锈。
i.当设备维修时易产生微尘粒子,故维修时尽量于清洁室外进行,并加隔离栅隔离。
j.对于施工或维修之厂商,应告知进出无尘室之各项规定,且负责工程师应随侍在侧监工。
k.应有无尘室专用工具组,但不得带出无尘室外使用。