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洁净室尘埃粒子检测基准

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2012年07月15日  点击数:7983

洁净室尘埃粒子检测基准

1.0目的

 规范公司洁净室尘埃 粒子检测方法,以使洁净室达到洁净要求

2.0范围

适用于公司所有洁净室(含镀膜、丝印、超声波、贴膜、组检车间)

3.0职责与权限

3.1实验室:定期定点对洁净室尘埃粒子检测,并出示检测报告。

3.2质量部部长:审批检测报告

3.3洁净室各部门主管:对检测不合格进行整改。

4.0执行标准

美国联邦标准(<USA Federal Standard> 209E(1992年))

洁净度级别

粒径(μm) 单位:pc/ft3

0.1

0.2

0.3

0.5

5.0

1

35

7.5

3

1

NA

10

350

75

30

10

NA

100

NA

750

300

100

NA

1000

NA

NA

NA

1000

7

5000

NA

NA

NA

5000

35

10000

NA

NA

NA

10000

70

 

5.0内容:

  5.1检测仪器的操作:


5.1.1打开仪器侧面的电源开关,GT-321屏幕上显示0.3u。如果屏幕无显示,请检查并调节LCD背光源对比度或检查电池是否需要充电。

5.1.2每次开机,默认测试粒径为0.3u,可以按<SELECT>键依此选择0.5u,5.0u,测试粒径。选择好测试粒径后,按<START>键开始测试,这时可听到内置气泵运转的声音。6秒钟后屏幕显示大于等于所选粒子个数(每立方英尺),仪器会不间断地再测试9次(每6秒取样1次),1分钟后屏幕显示的最终测量结果为10次的平均值。

5.1.3采用随机附带的Isokinetic采样头可以避免风流对测试精度的影响,特别是测量小粒径的颗粒时应采用Isokinetic采样头。将采样头一端的软管接到GT-321的进风嘴上即可。可以加长采样头的软管,但会影响测试精确度,软管不要超过4英尺(1.2米)。

5.1.4测量位置会影响测试结果,测量时应把采样头正对风流方向,并保持稳定。

5.1.5将测试结果记录在测试报表上。

5.1.6仪器校准:

     a)空气泄露或仪器内部被污染都会影响测试结果的正确性,应定期对仪器进行校正,将配套的过滤效率为0.2um的高效过滤器连接在进风口上,然后开机,经过滤的洁净空气会清洁仪器,≥0.3um以上的微粒会被清除(效率达到99.99%以上),这时选择测试≥0.3um的微粒,测试时间为60秒,结果应该为0。

     b)过高或过低的风量都会影响测试结果的正确性,应定期对仪器进行校正,采用精度为+/-3%的风量计(可选热敏式风量计),将风量计连接在进风口上,然后开机,风量计读数应在0.1CFM+/-5%范围内,如果超出该范围,可用小起子伸进GT-321底部,顺时针方向增加风量,逆时针方向减少风量

5.2取样点的设置

  5.2.1暂规定共42个取样点(分别在组检、丝印、贴膜、超声波清洗、超声波(检验)/镀膜等车间)。见附图。则取样点位置仅为参考, 取样点依据车间工艺布局而改动。 

5.2.2取样点应在相应位置的作业台面,采样时采样头朝上。见附图。

  5.2.3取样点检测数据须填写在报告的对应位置。

5.3取样时机

  5.3.1每周对采样点进行常规检测2次。

  5.3.2洁净室进行保养(如进行更换中高效过滤器)或5S大扫除后需进行检测;

  5.3.3遇上长假日(如春节),洁净室停开一段时期后重开需检测;

  5.3.4出现异常(包括产品质量异常)时因分析而需检测。

5.4检测报告公布与异常处理

  5.4.1检测员完成所有采样点检测后,需如实的填写检测数据;

  5.4.2针对出现异常的采样点,检测员需填写异常联络单,需要时交质量部部长签名确认;

  5.4.3相关部门负责人需针对异常情况作出相应的改善措施;

  5.4.4检测员需对改善后的情况进行复测。

6.0附件

     6.1洁净室采样示意图。

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