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微电子洁净室习题

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2012年11月29日  点击数:4710

微电子洁净室习题

一、填空

1. 空气洁净度级别以                                           来确定。

2. 1961年诞生了世界上最早的洁净室标准即                            1963年底颁发了洁净室的一个军用部分的联邦标准即                 

3. 洁净空间的污染源主要有                                 两大类。

4. 广义的大气尘既包含               也包含                          

是专指大气中的悬浮微粒,粒径小于         在美国和日本,和这种广义的大气尘概念相对应的是                               或者            

5. 空气中含尘浓度的三种表示方法                                   

                      洁净室一般采用                      表示方法。

6. 和洁净室有关的大气菌主要是                                  

7. 带菌微粒的等价直径是指                                        

8. 在洁净室技术中,最常用的是以                                      

                                      来确定空气洁净级别。

9. 洁净室内的发尘量主要来自                

10. 微粒过滤器按微粒被捕集的位置可以分为                     两大类。

11. 五种过滤机制是                                                

                                                                

12. 评价任何过滤器,最重要的特性指标有四项:                         

                                                        

13. 影响过滤效率的主要因素有                                      

                                            

14. 气体纯度的表示方法有                                         

15. 根据气体纯度的不同,通常将气体纯度分为四级,分别为               

                                                  

16. 气体中的杂质从其性质方面考虑,可将其分为                        

                                                               三类。

17. 气体中的液体杂质主要指                 

18. 一般要求气体中颗粒允许粒径大小为电路设计最小线宽的            以下。


二、简答

1. 试举例说明气体纯度的表示方法。

2.  分子筛吸附原理

3. 钯合金管纯化气体机理

4.储氢合金瓶制取超纯氢的原理及过程

 

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