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微电子洁净室习题
微电子洁净室习题
一、填空
1. 空气洁净度级别以 来确定。
2. 1961年诞生了世界上最早的洁净室标准即 。1963年底颁发了洁净室的一个军用部分的联邦标准即 。
3. 洁净空间的污染源主要有 和 两大类。
4. 广义的大气尘既包含 也包含 ，
是专指大气中的悬浮微粒，粒径小于 。在美国和日本，和这种广义的大气尘概念相对应的是 或者 。
5. 空气中含尘浓度的三种表示方法 、 、
，洁净室一般采用 表示方法。
6. 和洁净室有关的大气菌主要是 和 。
7. 带菌微粒的等价直径是指 。
8. 在洁净室技术中，最常用的是以
来确定空气洁净级别。
9. 洁净室内的发尘量主要来自 。
10. 微粒过滤器按微粒被捕集的位置可以分为 、 两大类。
11. 五种过滤机制是 、 、
、 、 。
12. 评价任何过滤器，最重要的特性指标有四项： 、
、 、 。
13. 影响过滤效率的主要因素有 、 、
、 。
14. 气体纯度的表示方法有 和 。
15. 根据气体纯度的不同，通常将气体纯度分为四级，分别为 、
、 、 。
16. 气体中的杂质从其性质方面考虑，可将其分为 、
、 三类。
17. 气体中的液体杂质主要指 。
18. 一般要求气体中颗粒允许粒径大小为电路设计最小线宽的 以下。
二、简答
1. 试举例说明气体纯度的表示方法。
2. 分子筛吸附原理
3. 钯合金管纯化气体机理
4.储氢合金瓶制取超纯氢的原理及过程
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