各国洁净室等级标准和规范

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2012年07月13日  点击数:11617

洁净室等级标准和规范在经济和科技发达的国家和地区都有自己的标准,都规定了有关的洁净度等级。

例如:美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行较大的修改,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。目前,该规范在重新修订中。

GBJ73-84规定的洁净度等级

等级

每立方米(升)空气中》0.5μm尘粒数

每立方米(升)空气中》5μm尘粒数

100

《35*100(〈3.5〉


1000

《35*1000(〈35〉

《250(〈0.25〉

10000

《35*10000(〈350〉

《2500(〈2.5〉

100000

《35*100000(〈3500〉

《25000(〈25〉


美国联邦标准FS209E中的洁净等级

等级名称

等级限值

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

5μm

容积单位

容积单位

容积单位

容积单位

容积单位

国际单位

英制

单位

m3

Ft3

m3

Ft3

m3

Ft3

m3

Ft3

m3

Ft3

M1.0


350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10

0.283

/

/

M1.5

1

1240

35.0

265.0

7.5

106

3

35.3

1

/

/

M2.0


3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

/

/

M2.5

10

12400

350.0

2650

75

1060

30

353

10

/

/

M3.0


35000

991.0

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

/

/

M3.5

100

/

/

26500

750

10600

300

3530

100

/

/

M4.0


/

/

75700

2140

30900

875

10000

283

/

/

M4.5

1000

/

/

/

/

/

/

35300

1000

247

7

M5.0


/

/

/

/

/

/

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

/

/

/

/

/

/

353000

10000

2470

70

M6.0


/

/

/

/

/

/

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

/

/

/

/

/

/

3530000

100000

24700

700

M7.0


/

/

/

/

/

/

10000000

283000

61800

1750


美国宇航局标准NHB5340.2中的洁净等级

生物

洁净

室标准

尘埃

生物粒子

压力

温度

湿度

气流

照度

粒径

(μm)

个/L

浮游量

(个/L)

浮沉量

(个/m2周)

mmH2O

%

换气

次数

Lx

100

≥0.5

≤3.5

≤0.0035

12900

≥1.25

指定数

40~45


1000~1620

10000

≥0.5

≥5.0

≤350

≤2.3

≤0.0176

64600

≥1.25


100000

≥0.5

≥5.0

≤3500

≤23

≤0.0884

323000

≥1.25


日本工业标准JISB-9920-1989中的洁净度等级

粒径(μm)

洁净度等级(个/m3)

1级

2级

3级

4级

5级

6级

7级

8级

0.1

101

102

103

104

105

106

107

108

0.2

2

24

236

2360

23600




0.3

1

10

101

1010

10100

101000

1010000

10100000

0.5

0.35

3.5

35

350

3500

35000

350000

3500000

5.0

/

/

/

/

29

290

2900

29000

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