洁净室静电测试内容主要包括： 1 泄漏电阻 2 系统接地电阻 3 体积电阻 4 表面电阻 4 系统电阻
GB50591-2010 《洁净室施工及验收规范》 GB/T25915-2010 《洁净室及相关受控环境》
ISO 14644_2006 Cleanrooms and associated controlled environments
