无尘室等级如何定义

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2012年07月06日  点击数:14484
无尘室等级如何定义

无尘室的等级说明

使用者在开无尘室的等级给供货商时,有以下几个小技巧。

首先是等级定义的模式如下:

Class X (at Y μm )

其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。

第二个技巧是规定无尘室的状态,例如:

Class X (at Y μm ),At-rest

供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。

第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:

Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built 
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built 

这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。

 

以下两个表是Fed-Std-209E的等级定义,和ISO-14644的等级定义

 

Fed-Std-209E洁净度定义 

 

 Class Name

 

 

Class Limits

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

5μm

Volume Units

Volume Units

Volume Units

Volume Units

Volume Units

SI

U.S.

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

M 1

 

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10.0

0.283

-

-

M 1.5

1

1,240

35.0

265

7.50

106

3.00

35.3

1.00

-

-

M 2

 

3,500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

-

-

M 2.5

10

12,400

350

2,650

75.0

1,060

30.0

353

10.0

-

-

M 3

 

35,000

991

7,570

214

3,090

87.5

1,000

28.3

-

-

M 3.5

100

-

-

26,500

750

10,600

300

3,530

100

-

-

M 4

 

-

-

75,700

2140

30,900

875

10,000

283

-

-

M 4.5

1,000

-

-

-

-

-

-

35,300

1,000

247

7.00

M 5

 

-

-

-

-

-

-

100,000

2,830

618

17.5

M 5.5

10,000

-

-

-

-

-

-

353,000

10,000

2,470

70.0

M 6

 

-

-

-

-

-

-

1,000,000

28,300

6,180

175

M 6.5

100,000

-

-

-

-

-

-

3,530,000

100,000

24,700

700

M 7

 

-

-

-

-

-

-

10,000,000

283,000

61,800

1,750

 

ISO-14644洁净度定义 

ISO classification number(N)

Maximum concentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1).

0.1mm

0.2mm

0.3mm

0.5mm

1mm

5mm

ISO Class 1

10

2

 

 

 

 

ISO Class 2

100

24

10

4

 

 

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

 

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

 

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

 

 

 

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

 

 

 

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

 

 

 

35 200 000

8 320 000

293 000

NOTE Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.

Equation (1): Cn = 10NX (0.1/D)2.08其中Cn是微粒浓度,N是洁净度,D是粒径

 

比较以上两表我们可看出

  1. 209E的公制和英制两套标准,虽然有公式做互换,但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表,徒然造成混淆
  2. 在两表中0.5mm几乎出现在每一个等级定义中,表示粒径0.5mm的粒子非常具有代表性
  3. 在洁净度的分类上,不管是在高洁净度,或是低洁净度,ISO-14644的范围比209E都来的广,因此具有未来性
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