半导体无尘车间管理制度整理

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2012年12月10日  点击数:6695

半导体无尘车间管理制度整理


半导体无尘车间管理制度整理


1.0无尘车间管理的目的

半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求,为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产,必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。关于更多无尘车间管理请参考:http://www.iwuchen.com/news-5/


2.0无尘车间管理的原则

2.1        进入洁净室的管理,包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。

2.2        操作管理技术,对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗;操作人员的移动和动作;室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等,尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。

2.3        严格各类设备、设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备、设施按要求正常运转,包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。

2.4        清扫、灭菌管理,对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定,防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。

2.5        洁净室环境控制的内容包括:空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。


3.0适用范围

半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。


4.0术语:无


5.0管理程序


5.1无尘车间洁净室施工管理制度

5.1.1背景

5.1.1.1半导体制造业必须在洁净的环境中进行,在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功,现场的每一位人员都必须遵守。

5.1.1.2图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。

5.1.1.3洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建,后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。

5.1.2责任与义务

5.1.2.1所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序,并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。

5.1.2.2承包商负责执行洁净室草案。他将每天对洁净建设区域进行检查,并填写检查清单。承包商负责提供洁净室所需物品,例如:鞋套,毛巾,垫子和工装。他也负责提供每日执行洁净规则和程序的人员和设备。

5.1.2.3承包商建造区域入口并对其进行管理。他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。他将对在洁净区域工作的人员进行培训,并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。

5.1.2.4开始阶段,承包商应在每个入口处安排人员(除非半导体公司在该入口处安排有人员)以确保本规则和程序的执行。 

5.1.2.5重复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。


5.2无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准

5.2.1       为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求,必须定期对洁净室内的洁净度进行检测。

5.2.2       检测测试设备:激光粒子记数器

5.2.3       检测周期:每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测

5.2.4       检测条件:静态洁净度测试

5.2.5       数据收集整理:将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存,并在每个季度末(或下季度初)给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。

5.2.6       各洁净区域洁净级别标准:按照《半导体公司能源管理标准》要求执行。

区域、系统名称

洁净等级标准

相当于ISO级别

等效于GB级别

K-1系统划片区域


静态1万级  

K-1系统改造前为静态10万级 

CLASS 7

CLASS 8

CLASS 7

CLASS 8

K-2系统包封区域

静态30万级 

CLASS 8.3

CLASS 8.3

K-3系统搪锡区域

静态30万级 

CLASS 8.3

CLASS 8.3

K-4系统测试区域

静态30万级 

CLASS 8.3

CLASS 8.3

K-8系统电镀区域

静态30万级 

CLASS 8.3

CLASS 8.3

现有其他空调系统

舒适性空调系统,无洁净要求 

Not Applicable

Not Applicable

5.2.7       洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等(包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护,如,空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等)执行威世半导体(西安)有限公司厂务部相关SOP文件。


5.3洁净室人员管理制度

5.3.1洁净室的人员管理包括:制定专职管理人员的职责、洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。

5.3.2人员净化与进入

5.3.2.1  在洁净厂房内众多的污染源中,人是主要污染源之一,尤其是工作人员在洁净环境中的活动,会明显地增加洁净环境的污染程度。

5.3.2.2  对于高级别洁净区域,应严格控制进入人员数量,并规范进行二次更衣。

5.3.2.3  要获得生产环境所需要的空气洁净度等级或延长空气过滤器的使用寿命,对进入洁净室的人员、物料进行净化十分必要。

5.3.2.4  为保持洁净室空气洁净度,应尽量减少进入洁净室人员带入的污染物。所有进人洁净室的人员必须严格地按规定程序进行人身净化。

5.3.2.5  个人衣服物品全部放到指定的柜子里,去掉化妆,换上指定的服装,按空气洁净度等级相应的脱衣顺序脱衣,放在规定的衣柜内。

5.3.2.6  进入脱衣室,在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内,禁止不脱鞋直接跨越更衣凳而进入更衣室。

5.3.2.7  若公司后期发展需要更高洁净级别要求的洁净区域(指高于ISO Class7级别)进入前,需要设置盟洗室用洗手器洗手(先用洁净洗涤剂洗涤,再用洁净水冲洗。洗涤后用自动烘手器烘干)。

5.3.2.8  凡是交叉污染的媒介,要经常洗涤。不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等。要按规定戴手套和指套。


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