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洁净室尘埃粒子检测标准操作规程

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2013年01月02日  点击数:10781

洁净室尘埃粒子检测标准操作规程


文件名:洁净室尘埃粒子检测标准操作规程

文件编号:ZL/SOP/ZK/02100

制定人:

日期:     年  月  日

文件类型:工作标准

审核人:

日期:     年  月  日

版   次:第一版

批准人:

日期:     年  月  日

印   数:共5份

生效日期:                          年  月  日

颁发部门:综合办公室

分发至: 质量副总经理、质量管理部、QC检验室、综合办公室

变更记载

修订号

修订人

批准日期

生效日期

原 因 及 目 的


























⒈      目的:阐述洁净室(区)中悬浮粒子的测试方法,用以规范员工的检测操作

⒉      范围:适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作

⒊      责任:生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。

⒋      测依据:

⒌      内容:

5.1仪器:光散射粒子计数器和滤膜显微镜。

光散射粒子计数器用于粒径≥0.5μm;滤膜显微镜用于粒径≥5μm的悬浮粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。

5.2         测定标准  

洁净度

级别

悬浮粒子最大允许数/立方米(a)

频次

静态(b)

动态(b)

≥0.5μm(d)

≥5μm

≥0.51μm(d)

≥5μm

100级

3500

1

3500

1

一次/月

10000级

3500

1

350000

2000

一次/月

100000级

350000

2000

3500000

20000

一次/月

300000级

3500000

20000

不作规定

不作规定



5.3 测试方法

5.3.1 仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。

5.3.2 采样管口置采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。

5.3.4 采样管必须干净、严禁渗漏。

5.3.5 采样管的长度应根据仪器的允许长度,除另有规定外,长度不大于1.5m。

5.3.6 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差。

5.3.7 必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定,以保证测试数据的可靠性。


5.4 测试规则

5.4.1测试条件

5.4.1.1 温度和湿度:洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应,温度控制在18~26℃,相对湿度控制在45~65%之间为宜。

5.4.1.2 压差:空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应≥5Pa,空气洁净度级别要求等高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。

5.4.2 测试状态:有静态测试和动态测试。

5.4.2.1 静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态,测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必须符合规定。

5.4.2.2 动态测试时已处于正常生产状态,所产生粒子不影响最终产品的作业,可允许超出标准,但当操作完成10分钟后,粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内,应定期监控动态条件下的洁净状况。

5.4.2.3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。

5.4.3 测试时间:对单向流,测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。

5.4.4 悬浮粒子计数

5.4.4.1采样点数目及其布置

5.4.4.1.1 采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。

5.4.4.1.2 采样点布置要求均匀,避免采样点在某局部区域过于稀疏。

5.4.4.1.3 采样点一般在工作台面上0.2m高度的平面上均匀布置。

5.4.4.2 采样点的限定:对于任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点的数目不得少于2个,总采样次数不得少于5次。每个采样点采样次数可以多于1次,但不同采样点的采样次数可以不同。


最少采样点数目

面积m2

洁净度级别

100

10000

100000

<10

≥10<20

≥20<40

≥40<100

≥100<200

≥200<400

≥400<1000

≥1000<2000

2000

2~3

4

8

16

40

80

160

400

800

2

2

2

4

10

20

40

100

200

2

2

2

2

3

6

13

32

63

注:表中的面积,对于单向流洁净室,是指送风面积,对于非单向流洁净室,是指房间面积。


5.4.4.3 采样量:   

最小采样量

洁净度级别

采样量,升/次

≥0.5μm

≥5μm

100

10000

100000

300000

5.66

2.83

2.83


_

8.5

8.5

5.4.4.4 采样注意事项

5.4.4.4.1 在确认洁净室(区)送风和压差达到要求后,方可进行采样。

5.4.4.4.2 对于单向流,计数器采样管口朝向应正对气流方向,对于非单向流,采样口宜向上。

5.4.4.4.3布置采样点时,应避开回风口。

5.4.4.4.4 采样时,测试人员应在采样口的下风侧。

5.4.4.4.5 悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算。

5.5 结果计算 

                            C1+C2+------+CN

5.5.1 采样点的平均粒子浓度A= ————————

                                  N

式中:

A--某一采样点的平均粒子浓度,粒/m3;

Ci--某一采样点的粒子浓度(i=1,2,---,N),粒/m3;

N--某一采样点上的采样次数,次。

                     A1+A2+---+AL

5.5.2 平均值的均值M= ————————

                        L

式中

M——平均值的均值,即洁净室(区)的平均粒子浓度,粒/m3;

Ai——某一采样点的平均粒子浓度(i=1,2,---,L),粒/m3;

L——某一洁净室(区)内的总采样点数,个。

5.5.3 标准误差  SE= 式中

SE——平均值的标准误差,粒/m3。


5.5.4 置信上限

UCL=M+t×SE

式中:UCL——平均值均值的95%置信上限,粒/m3;

t ——95%置信上限的t分布系数。


95%置信上限的t分布系数

采样数L

2

3

4

5

6

7

8

9

>9

t

6.31

2.92

2.35

2.13

2.02

1.94

1.90

1.86

-

注:当采样点多于9点时,不需要计算UCL。

5.6 结果评定:判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。

5.6.1 每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限,即Ai≤级别界限。

5.6.2 全部采样点的粒子浓度平均值的均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限。

5.7 当连续三次样品测试结果超过警戒指标,或单位样品的结果特别高时,应着手采取措施。

5.8 用标有页码记录本记录洁净室悬浮粒子测试实验,内容包括:部门、试状态、测试时间、标准、测试结果、结果计算、结果评定等所有记录必须有实验员签名,并交质量管理科负责人签字。

5.9 记录本应保存至最后一次记录后的三年。 

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