IEST-RP-CC012.2:洁净室设计要点(中文完整版)

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2012年07月13日  点击数:5589

IEST-RP-CC012.2:洁净室设计要点(中文完整版)

IEST-RP-CC012.2的规划部分能够帮助用户建立项目需求和开发基础设计,环境科学技术学会(IEST),建议实行的标准“IEST-RP-CC012.1:设计洁净室时要考虑的问题”,最近已经完成修订,预计在今年年底出版。长期以来,原来推荐的规程一直是有关洁净室设计、建筑和所有权的主要标准。它往往是用户开始学习和了解洁净室用途最重要的第一步。

    这个文件的正式范围是:这个推荐规程(RP针对洁净室设计中需要考虑的有关因素提出建议。这个论述仅限于那些洁净室设计者和用户经常会遇到的环境条件。

    这个修订文件——IEST-RP-CC012.2和原来的文件一样,由两个主要部分组成:规划和设计要求。这个新文件是在原来的推荐规程(RP)基础上做了大量的修订和更新,并且增加了几个新题目。

这个新文件包括了对防火、空气过滤、空气分子污染(AMC)、工厂自动化、工厂监控和关闭工厂的论述。它对原来的微环境、供电和洁净室建筑规程都作了重大的扩充。在噪音、振动和污染控制部分也作了更新,不仅包含现有最新的标准,还预测了未来的标准。

    在规划部分还增加了维护、备用设备、改造、灵活性、生物工程学和能源效率等特殊需求的论述。
IEST-RP-CC012.2对所有行业的洁净室所有者、使用者、设计者和建造者都很重要。
我们一起来近距离地看看这个新文件。

规划
规划部分适用于目前的洁净室用户和那些有计划使用洁净室的用户。它用合乎逻辑的程序来引导用户,这个程序明确了项目的要求,并且提出一套实现这些要求的方法。这部分使用W. Pena于上世纪80年代研究出来的方法,提供其他文件所没有的信息来源。人们常说,如果把原来的IEST-RP-CC012.1的章节的主题标题单独拿出来并且去掉后面的论述,它和Pena的最初的工作一样,是一个非常完整的洁净室设计清单。这个新文件包括了原来所有的内容并且增加了几个新章节。

规划部分首先回顾了制造过程和制定用来确定生产布置的效用图表。这个效用图表还可以用来确定与制造工艺有关的污染控制、人身安全和环境问题。

这部分提供污染物控制的指导方针,它把各种类型的污染物分门归类并且列出用来减轻污染的常用方法。它包括了关于人生安全和环境的问题、关键物流、场地选择标准、安全和进出控制和政府管理方面的论述。

IEST-RP-CC012.2在规划部分引进一些新题目,包括防火、特殊要求和能源效率。特殊要求部分非常有用,因为它包含了在设计过程中常常被忽视掉的一些问题。这些问题包括维护能力、借用设备、灵活性等。能源效率提出降低能源消耗的建议,而且还提供通过实际案例研究得到的数据。

还有一个新章节,它涉及现有设备的改造问题。它回顾了对现有洁净室进行改造的物流问题和以后对运行的影响。
这个文件的规划部分还包括生物工程学、预算和进度方案。

设计要求
IEST-RP-CC012.2的规划部分能够帮助用户建立项目需求和开发基础设计,这部分关于设计需求的论述增加了关于工艺的细节。我们在这里找到关于各种工厂系统的论述,并且它们可能最适合在最终的设计中使用。这部分首先回顾了洁净室中气流模型的类型:单向气流、非单向气流和混合气流,并且提供关于各种气流模型的使用指导。它还论述了关于如何保持理想的气流模型的建筑布置。

这个章节是关于气流的指导方针,已经作了更新并且扩大了范围,它包含新版的建议气流速度表。无论提供的怎样的数据,它总是会引起激烈的争论。人们希望新版本能够做和老版本一样的事情。空气过滤部分回顾了在线过滤器和终端过滤器两种产品并且列出了适当的测试标准。http://www.iwuchen.com/

原文件的核心部分——HVAC系统构成,在修订后的文件中仍然保留,并且提供关于温度、湿度、压力和排风方面的讨论依据。这部分描述了由排风决定的系统、由冷却决定的系统和洁净度分类决定的系统,并且向用户提供关于哪个系统才是最适合的必要的信息。

文件分别提供温度、湿度、压力和排风的指导方针、认证要求和设计参数,通过详细说明HVAC标准来指导用户达到项目的具体要求。

增加了新的章节,它涉及检验空气分子污染(AMC)和用来控制空气分子污染的系统。它将AMC控制和HVAC系统整合在一起,这样能够把必要的设计元素结合起来。

关于噪声和振动的章节已经更新完成,它包括现有的标准和技术。特别值得注意的是,它引进了两个新的振动标准曲线:VC-F和VC-G。虽然这个新标准还没有得广泛的使用,但是对某些应用来说非常重要,比如纳米技术。
关于洁净室电力部分的范围扩大很多,包括备用设备、安全、应急用的电力系统和备用电力系统等问题。它还论述了静电干扰和洁净室照明问题。

关于人身安全的章节现在包括关于有毒气体监视系统和检漏的论述。
自IEST-RP-CC012.1第一次出版至今,微环境技术已经取得很大的进步。因此,关于微环境部分的章节增加了许多,并且把重点放在微环境和建筑系统的整合上。“IEST-RP-CC028.1:微环境”中的内容已经加入如何帮助用户根据具体用途来确定使用什么类型和结构的微环境。

许多新的和现有的工厂在他们的设计中加入自动化系统。这些系统的工厂整合和运行建议非常重要。IEST-RP-CC012.2关于工厂自动化的章节提供了关于这些系统使用和整合方面的指导。

许多现代化洁净室工厂包含有专门用来提供与操作参数有关的实时信息的工厂监视系统。这些参数包括温度、压力、湿度和空气微粒的等级。这个新文件详细描述了这些系统并且提供关于所使用的系统类型的指导性意见。
许多工厂老化或者技术落后,需要让它们退役,这就是关闭工厂程序。这个程序提供经济上、环境上和人身安全方面的建议。IEST-RP-CC012.2提供与工艺、工厂和建筑部件有关的关闭工厂的指导。

人们把洁净室建筑规程作为成功的洁净室项目的基础。 IEST-RP-CC012.2回顾了执行这样一个计划的规划、物流保障和程序等方面的要求。它回顾了外界隔离、进出控制、培训和不间断清洁等方面的要求。这个RP的附录包括一个的洁净室建筑规程计划的例子,适合用户使用或改进。

长期以来,“IEST RP 12.1:设计洁净室时要注意的问题”已经成为洁净室规划和设计最主要的工具。这与提供食谱不同,它引导用户通过仔细考虑关于规划和设计方面的问题,通过开发能够满足具体需求的设计标准来协助用户和设计人员。IEST-RP-CC012.2保留了许多原有内容,在此基础上对原有内容进行详细说明,提供更多的内容并且更新设计标准。这个文件是与洁净室规划和设计有关的基础读物。

作者简介
本文作者Michael A. Fitzpatrick是McGill洁净室系统公司副总裁,他从事半导体工厂的设计与建造超过27年。他是环境科学与技术学会的高级会员,担任“WG-CC012:洁净室设计中需要考虑的问题”和“WG-CC0028:微环境”的主席。他是IEST的副主席。电子邮件:fitz@mcg-illcleanroom.com。

IEST简介
环境科学技术学会(IEST)成立于1953年,是一个国际非赢利性的技术组织,由工程师、科学家和教育家组成,他们通过教育和发展推荐规程和标准同时为IEST的会员和自己所代表的行业(地球和太空环境的模拟、测试、控制和教学)服务。IEST是一个美国国家标准化组织认可的标准开发组织、“ISO/TC 209:洁净室和有关联的控制环境”的秘书处、美国国家标准化组织认可的“US TAG到ISO/TC 209”的管理机构、美国国家标准化组织认可的“US TAG到ISO/TC 142:空气和其他气体的清净设备”的管理机构和美国国家标准化组织认可的“TAG到ISO/TC 229:纳米技术”的创始会员。

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