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洁净室主要有哪些污染源?

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2012年07月13日  点击数:8443

洁净室的污染源主要有哪些呢?

iwuchen跟大家介绍一家,洁净室的污染源主要有四种,分别如下:

 

1、大气尘(新风)

室外大气的含尘浓度

地区

计重浓度

计数浓度(≥0.5μm)

mg/m3

个/L

个/ m3

市区

0.1~0.35

5x104~23.3x104

15x105~70x105

郊区

0.05~0.3

2x104~10x104

10x105~30x105

农村

0.01~0.1

1x104~3.3x105

3x105~10x105


2、作业人员发尘(主要尘源)

作业人员发尘量(一){粒/(人?min)≥0.5μm}

序号

人员动作

普通工作服

洁净工作服

分套型

全套型

1

339000

113000

5580

2

302000

112000

7420

3

臂上下运动

2980000

298000

18600

4

上体前屈

2240000

538000

24200

5

臂自由运动

2240000

298000

20600

6

头部运动

631000

151000

11000

7

上体转动

850000

266000

14900

8

屈身

3120000

605000

37400

9

踏步

2800000

861000

44600

10

步行

2920000

1010000

56000


作业人员发尘量(二){粒/(人?min)≥0.5μm}

序号

工作服型式及材料

动作

坐(四肢、头部自由活动)

走动

1

全套型粗织尼龙工作服

38.3x104

322x104

2

分套型密织尼龙工作服

18.1x104

128x104

3

分套型密织尼龙工作服

内衬的确良工作服

7.2x104

73.8x104

4

棉的确良工作服

20.5x104

108x104

5

电力纺工作服

101x104

677x104

6

普通服装

210x104

300x104


3、建筑围护结构产尘(屋顶、墙、地板)

洁净室建筑表面发尘量{粒/(min?┫地面)≥0.5μm}

序号

建筑表面发尘量

资料来源

1

(0.8~1)*104

电子部十一院《设计通讯》1975年

2

(0.3~0.9)*104

电子部十一院《苏州半导体器件一厂洁净室测定》1978年

3

0.77*104

电子部十一院《北京西城半导体材料厂水平层流洁净室测定报告》1975

4

4.5*104

电子部十一院《出国考察报告》(74)013 1974年


洁净室建筑表面发尘量与作业人员发尘量的比较

项目

粒径


洁净室建筑表面发尘量

{粒/(min?┫地面)}

人员发尘量{粒/(人?min)}

静止(基本静止)

人员正常操作

≥0.5μm

1.25*104

10*104

50*104


4、工艺生产过程产尘(与生产设备、生产工艺、生产过程有关,不同的生产过程、工艺产尘量不同)。

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