如何对洁净室内的环境控制?

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2013年12月19日  点击数:2534

如何对洁净室内的环境控制?

洁净室内之污染路来源,经测试分析结果,作业人员占约80%。实验数据显示,作业人员进出洁净室时尘埃有显著增加,有人动作时,洁净度马上劣化,可见洁净度劣化之原因人是主要因素。

洁净室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等;而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等。

对硅芯片而言,微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路,使芯片失去运作功能,因此微污染源的控制已成为洁净室管理的重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度,可为设计参考,而在微污染控制,其基本原则有四:

1.外部尘埃侵入之防止

洁净室适当之正压保持(>0.5mmAq),做好施工工程之不漏气,人员设备、原材料搬入洁净室前先做好清洁擦拭等防尘动作,空气过滤器适当的管理和设置。

2.室内发尘之防止

隔间板、地板等洁净室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用洁净室专用器等。

3.室内发尘之不积留

墙壁体应光滑无死角、洁净室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。

4.发生尘埃之排除

换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。人、物入室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题,这些问题将于下节详述。

表1自然界微尘粒子数

测量地点

微尘粒子数(个/ft3)≥0.5μm

大气层圈

ㄑ100

田园地区(微风状态)

100,000~300,000

住宅地区

100,000~200,000

办公室(工作中)

200,000~400,000

工业区

400,000~1,000,000

正在吸烟的会议室

600,000~1,000,000

更多
相关文章:
洁净厂房的使用维护管理
洁净室FFU维护检测注意事项
无尘室如何维护?
无尘洁净室运行管理及维护服务外包应注意哪些问题?
空气净化工程系统维护保养管理规程(SMP)
洁净室维护管理制度说明
无尘车间使用维护说明书

上一条:什么是无尘室?下一条:无尘室对物有哪些要求?
首页 | 关于我们 | 解决方案 | 工程案例 | 客户中心 | 洁净室标准 | 技术中心 | 联系我们
深圳、佛山、东莞、中山、江门、惠州、广州净化工程公司|无尘车间|洁净室|无尘室|净化厂房|洁净厂房|洁净车间|洁净棚|GMP车间|GMP厂房等空调洁净工程施工及服务
拓展阅读:10万级净化车间标准|实验动物房|中央厨房|洁净室换气次数|洁净手术室规范|GMP洁净度等级|食品生产卫生规范|洁净厂房施工要点|无尘车间着装规范
Copyright © 2012-2018