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ISO/DIS14644-1洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级说明

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2012年08月18日  点击数:7005

ISO/DIS 14644-1洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级说明


ISO分级

大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度(颗/m3)

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

ISO1级

10

2





ISO2级

100

24

10

4



ISO3级

1000

237

102

35

8


ISO4级

10000

2370

1020

352

83


ISO5级

100000

23700

10200

3520

832

29

ISO6级

1000000

237000

102000

35200

8320

293

ISO7级




352000

83200

2930

ISO8级




3520000

832000

29300

ISO9级




35200000

8320000

293000


其FDIS版本只需进行最后的修改和投票。它即将成为ISO/TC209在1998年年中发行的第一份正式标准。ISO14644-1把空气洁净度分为9个等级,比美国联邦标准209E多出3个等级(请参见表C和表D)。微粒数量触发点(trigger points)在ISO14644-1和FS209E之间只存在细微的差别(请参见表E)。请注意:所有的ISO数据都是以公制为基础的。


表C 14644-1

空气中的悬浮粒子的洁净度等级

等级

每立方米微粒的数量(单位:μm)


0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

ISO1

10

2





ISO2

100

24

10

4



ISO3

1,000

237

102

35

8


ISO4

10,000

2,370

1,020

352

83


ISO5

100,000

23,000

10,200

3,520

832

29

ISO6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

ISO7




352,000

83,200

2,930

ISO8




3,252,000

832,000

29,300

ISO9




35,200,000

8,320,000

293,000


表D空气中的悬浮粒子的洁净度等级的对比

ISO 14644-1

FED STD 209E

1



2



3

1

M1.5

4

10

M2.5

5

100

M3.5

6

1,000

M4.5

7

10,000

M5.5

8

100,000

M6.5

9




表E 0.5μm时的等级比较

ISO

ISO14644-1

FED STD 209E

1

-

-

2

4

-

3

35

35.3

4

352

353

5

3,520

3,530

6

35,200

35,300

7

352,000

353,000

8

3,520,000

3,530,000

9

35,200,000

-


洁净室系列标准是ISO标准的一个新体系,其工作由ISO/TC 209“洁净室和相关的控制环境”负责。此技术小组是在环境科学和技术学院(IEST)的协助下,由来自34个国家的1,000多名自愿者组成的。从现在到1999年底,TC209发行的10个标准将成为正式的ISO标准。

各标准的题目和发行时间如下:

ISO文件

题目

发行时间和形式

ISO-14644-1

空气洁净度的分类

97年10月FDIS(发行时间已延迟到98年10月)

ISO-14644-2

洁净室的鉴定测试

97年10月DIS

ISO-14644-4

洁净室的设计和结构

97年10月DIS

ISO-14698-1

生物污染的一般原则

97年10月DIS

ISO-14698-2

生物污染数据的鉴定和分析

97年10月DIS

ISO-14698-3

表面的生物污染控制

98年6月DIS

ISO-14644-3

测量学和测试方法

98年9月DIS

ISO-14644-5

洁净室的操作

98年10月DIS

ISO-14644-7

微观环境和绝缘体

98年10月DIS

ISO-14644-6

术语、定义和单位

99年2月DIS


ISO14644 1-8中英文完整版请参考:http://www.iwuchen.com/a-163/

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