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洁净室单向流气流组织设计要注意哪些问题?

2026-05-07

洁净室单向流气流组织设计要注意哪些问题?

1.防止高效过滤器泄漏:如泄漏,优点损坏;

2.确保室内送风气流均匀

① 提高送风过滤器满布率,以减小边框盲区

②提高过滤器风口侧面出风速度,可用带扩散风口和侧面为条形开口风口,四周为条形开口,底面是孔眼,边上风速最好是中间风速的3倍以上

3.提高送风速度均匀程度:送风速度不均匀原因:过滤器、静压箱阻力不均向静压箱送风的速度太大

要克服洁净室内送风速度不均匀可采用以下措施:

①严格选用高效过滤器,根据《洁净室施工及验收规范》安装时应根据各台过滤器阻力大小进行合理调配,使送风面上各 过滤器之间每台额定阻力和各台平均阻力相差小于5%。

②过滤器下方设阻尼层,甚至设阻力不均匀的阻尼层。

③加大静压箱高度,大于800mm更好。

④改集中管道给静压箱进风为分散管道金凤,如图5-26,务必使吹入风速V在7m/s以下,或从两侧进风

⑤若进风速度V降不下来或只能单侧进风,可在进风口附近1~2个过滤器上面安装可调挡板,图5-28;也可增加静压箱内阻力,在出口不远处设多孔板

4.提高回风速度均匀程度: 送风上的一些措施可以用到回风上,如分散风管、设调节阀,把吸入速度减到5m/s以下,调节地面开口比等