| 监测项目 | 监测方法 | 合格标准 | 监测频次 |
| 高效过滤器检漏 | 尘埃粒子计数扫描巡检法 | 检测周期为10min时，
5μm粒子数≤20 |
至少1次/季度 |
| 洁净室换气次数 | 风速仪或
风量罩 |
B级40–60
C级≥25 D级≥15 |
正常生产车间洁净室(区)每半年至少测试一次;
新建、改造车间，开车之前进行全面测试。
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| 洁净室照度 | 照度仪测试 | 主要工作室≥300LX
辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室≥150LX; 其它工作区域≥100 LX。
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| 洁净室温度 | 温湿度仪测试 | A级、B 级、C级温度控制在20℃一24℃;
D级温度控制在l8℃-26℃。 相对湿度一般控制在45%-65%
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2次/日 |
| 洁净室
相对湿度 |
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| 洁净室压差 | 微压差计测试 | 空气洁净度等级不同的相邻房间之间、洁净室(区)与室外大气的静压差均应大于10帕；
空气洁净度等级不同的相邻房间之间一般≥5Pa |
