洁净室有较多的测试项目,如正负压,菌落数,温湿度,尘粒数,噪音,振动等等。这些测试项目可根据产品生产要求来合理对洁净室进行检测,这样既保证产品质量,又可节省费用。
故在iwuchen整理了洁净室验收测试时必要检测的三个项目在下面以供参考。
检测项目 |
常用仪器 |
检测、要求、方法 |
数据整理 |
合格标准 |
|
风 量 |
系统总风量 |
热球式电风速仪或比托管 |
用风管法测量,风管截面分成等面积区域,多点测定,每个小面积不大于0.05m2(方管小面积边长 ≤200mm)要注意选稳定管段,前5倍后3倍。 |
多点风速的算术平均值X截面面积 |
设计风量100%--120% |
系统新风量 |
设计风量±10% |
||||
非单向流 各室送风量 |
热球式风速仪 |
用风口法:加辅助套筒,按风管法分区测量风速。 |
平均风速X套角面积,多个风口之和 |
设计风量±15% |
|
单向流 风速和风量 |
同上 |
横截面积X平均风速,横截面距送风面0.3m,布点间距≤0.6m,最少5测点 |
多点算术平均值X横截面积 |
0.3~0.5(1-4级)0.2~0.5(5级) |
|
静 压差 |
静压差 |
倾斜式微压计,精密指针式微压计,最小可测1Pa |
关门、测压管通过口尽量密封、管口避开气流,只测一个点。 |
直接记录 |
级别不同的邻室之间≥5Pa 洁净区→非洁区≤10Pa |
平行流附加 |
粒子计数器 |
打开与低级别相通的门,在门中0.6m处工作面测洁净度。 |
参照洁净度测法 |
应不大于该级别上限值 |
|
洁净度 |
白炽光粒子计数器,激光粒子计数器。 |
布点≥房间面积1/2采样量:在该级别上限值数字下,采够20个。 人员:穿洁净服≤2人进入。 |
10点以上取算术平均值 10点以下要算标准偏差及置信度 |
在事先约定状态下,不超过其级别上限值 |