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洁净室静电测试内容有哪些？

2014-01-16

洁净室静电测试内容主要包括：
1 泄漏电阻
2 系统接地电阻
3 体积电阻
4 表面电阻
4 系统电阻

GB50591-2010 《洁净室施工及验收规范》
GB/T25915-2010 《洁净室及相关受控环境》

ISO 14644_2006 Cleanrooms and associated controlled environments

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