姓名： 得分：
一、选择题（每题2分）
1、下面哪项不是无尘室需要控制的参数（ C）
A、微粒子 B、气流 C、采光 D、压力
2、F1无尘室需要控制的温、湿度是（B）
A、22℃±1℃55%±10% B、23℃±1℃50%±5% C、23℃±2℃55%±5% D、22℃±2℃60%±10%
3、F1无尘室最高洁净等级（A）
A、10 B、100 C、1000 D、1
4、通过下列调节不能改变无尘室压力的是（D）
A、MAU B、排气 C、FFU D、CDA
5、F1 MAU单台风量是（B）
A、90000CMH B、100000CMH C、120000CMH D、130000CMH
6、关于无尘室下列说法错误的是（CD）
A、洁净度要求等级越高，分布的FFU越多
B、温度和湿度控制不当都会影响生产
C、MAU主要是控制无尘室的温度
D、干盘管在任何情况下是不会产生冷凝水的
7、模组无尘室2楼内的热负荷主要是靠（C）承担
A、MAU B、RCU C、DCC D、FFU
8、F2无尘室最高洁净等级（C）
A、10 B、100 C、1000 D、1万
9、F2无尘室的正压应比F1（C）
A、相等 B、大 C、小 D、可大可小
10、1000级无尘室控制微粒的粒径是（C）
A、0.1μm以上 B、0.3μm以上 C、0.5μm以上 D、5μm以上
二、问答题（每题20分）
1．请描述MAU空调箱的各个组成部分及功能。
预冷（降低焓值）-预热（提高焓值）-初中效（过滤大颗粒）-加湿段-风机段-均流孔板段-高效过滤器。
2、简述无尘室的气密性不好会有哪些危害？（两条即可）
外气带来尘埃，温湿度失控
3．简述面板厂无尘室温湿度及洁净度控制设备有哪些？
MAU:控制湿度，DCC控制温度，FFU控制洁净度。
三、故障分析题（每题10分）
1、CVD工程师致电FMCS，指出在洁净度测试的时候洁净度超标，请给出应急措施及解决方案。
马上联系无尘室责任工程师，并且安排复测，同时通知CVD对该区域进行清洁，如果复测仍然不合格，则对区域的FFU进行测试更换。
2、XRD工程师致电FMCS，指出XRD区域湿度低于50%，请给出应急措施及解决方案。
立即查看MAU空调箱运行状态，然后观察出风露点，如果偏低则确认热水系统是否正常，如果热水系统正常，则需要对温湿度探头进行校正。
