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审核：
2012年05月30日
一、前言：
为系统可顺利移交业主，及其验收标准，故研拟本计划书。此计划书大纲如下：
（1）测试方法。
（2）测试基准。
（3）测试表格。
二、时间：
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调试项目 |
开始日期 |
完成时间 |
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一、系统测试 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
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风压测试 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
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风速测试 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
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落尘测试 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
|
无尘室温、湿度测试 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
|
高效过滤器风口风量测试 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
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三、测试条件和程序：
1.无尘间测试基准：
-01）室外条件：夏季：35℃DB、70% 冬季：-5℃DB、50%RH
-02）室内条件：无尘室：温度23±2℃、湿度为50±5% RH；噪音：65DBA以下
2.无尘间检查测试程序：
（1）测试顺序与时间：
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项次 |
项目 |
正式系统 |
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无尘室 |
机房 |
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1 |
正压建立 |
2012/6/3 |
NA |
|
2 |
CLEAN UP |
2012/6/3 |
NA |
|
3 |
风压测试 |
2012/6/4 |
NA |
|
4 |
风速测试 |
2012/6/4 |
NA |
|
5 |
落尘测试 |
2012/6/4 |
NA |
|
6 |
温度、湿度测试 |
2012/6/4 |
NA |
|
|
高效过滤器风口风量测试 |
2012/6/4 |
NA |
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（2）检查测试仪器及测试地点：
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目次 |
品名 |
仪器厂牌 |
测试地点 |
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1 |
风压表 |
Bulletin A-27 |
无尘间三点测试 |
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2 |
风速计 |
TESTO-400 |
空调机供风管道 |
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3 |
温度测量仪 |
SRS13-6IN-90-NI40200 |
空调机供风管道 |
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4 |
湿度测量仪 |
SRS13-6IN-90-NI40200 |
空调机供风管道 |
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5 |
落尘测试仪 |
Laster particle counter－0.3μm×1cfm |
无尘间内1.1米高度多个位置 |
A.风速、风量测试
（a）此检测计划在于确认室内总风量、风速是否合乎规范要求。
（b）检测仪器：
经校正合格有效期一年内之风速计测试
（c）检测点：检测点位于主风管和高效过滤器下方300mm处，且每一过滤器取六点测试。
检测仪器检测时须以适当之架台支撑或延伸架固定。
（d）验收标准：
每一过滤器出口风速须较高于设计之空气量规格。
备注：本项目每个风口设计风量为1500m³/h左右。
B.洁净度（落尘量）(Cleanliness)
（a）此测试在于证明洁净度合乎无尘室规范要求。
（b）检测仪器：
Laster particle counter－0.3μm×1cfm检测仪器测试
（c）检测方法：每一无尘室洁净度均须以Laster particle counter检测。
-a）检测点：以FS 209E乱流洁净室标准测测试点数N=(地板总面积)／(洁净度等级平方根)，高度为高架地板/地板起1,100mm高度，每一检测点测试时间为一分钟。 (参考洁净室：http://www.iwuchen.com/)
备注：本项目测试点数N=640/316.2≈2。
-b）检测仪器检测时须以上适当之架台支持或以延伸架固定。
（d）验收标准：FS 209E落尘控制量
（e）测试区域(等级100K)
a. 洁净室清净度粉尘检测标准
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清静度(级数) |
测定粒子(μm) |
||||
|
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
5.0 |
|
|
1,000 |
NA |
NA |
NA |
1,000 |
7 |
|
10,000 |
NA |
NA |
NA |
10,000 |
70 |
|
100,000 |
NA |
NA |
NA |
100,000 |
700 |
C.室内压力(Room Pressurization)
（a）此测试在确保无尘室依甲方要求均维持在正压状态。
（b）检测仪器：
检测仪器须经校正合格且有效期一年内者，使用0~60Pa刻度型压力计。
（c）测试方法：
-a）检测点：三点测试
检测点于无尘室内放置测试管并室外测试管做为压差产生数据。
-b）室外大气压力假设为0.0mmAq压力。
-d）于运行阶段正常动作下之排气系统排气量调整为平衡状态。
-e）验收标准：压力测试结果须较≥10Pa。
D.温度及湿度(Temperature and Humidity)
（a）此项检测系确认无尘室内温度及湿度均在要求范围内。
（b）检测仪器
-a）检测精确能力可达±0.5℃之pc温度计或同级品。
-b）能力可达±2之电子湿度计或同级品。
-c）检测仪器均须校正合格且在有效期一年内者。
-d）前或交付报告时均须检附校正合格文件。
（c）检测方法
-a）无尘室内每区取一点并位于地板上方1,100mm之高度处。
-b）每一检测点至少须测试10MIN。
-c）测试点：无尘车间5个点，特气间2个点，实验室2个点。
（d）验收标准：检测及监测数据均须在规范要求范围内。
本项目设计值：温度23±2℃、湿度为40-60%RH。
