ISO/DIS14644-1洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级说明

2012-08-18

ISO/DIS 14644-1洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级说明

ISO分级	大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度（颗/m3）
ISO分级	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm
ISO1级	10	2
ISO2级	100	24	10	4
ISO3级	1000	237	102	35	8
ISO4级	10000	2370	1020	352	83
ISO5级	100000	23700	10200	3520	832	29
ISO6级	1000000	237000	102000	35200	8320	293
ISO7级				352000	83200	2930
ISO8级				3520000	832000	29300
ISO9级				35200000	8320000	293000

其FDIS版本只需进行最后的修改和投票。它即将成为ISO/TC209在1998年年中发行的第一份正式标准。ISO14644-1把空气洁净度分为9个等级，比美国联邦标准209E多出3个等级（请参见表C和表D）。微粒数量触发点（trigger points）在ISO14644-1和FS209E之间只存在细微的差别（请参见表E）。请注意：所有的ISO数据都是以公制为基础的。

表C 14644-1

空气中的悬浮粒子的洁净度等级

等级	每立方米微粒的数量（单位：μm）
	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm
ISO1	10	2
ISO2	100	24	10	4
ISO3	1,000	237	102	35	8
ISO4	10,000	2,370	1,020	352	83
ISO5	100,000	23,000	10,200	3,520	832	29
ISO6	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293
ISO7				352,000	83,200	2,930
ISO8				3,252,000	832,000	29,300
ISO9				35,200,000	8,320,000	293,000

表D空气中的悬浮粒子的洁净度等级的对比

ISO 14644-1	FED STD 209E
1
2
3	1	M1.5
4	10	M2.5
5	100	M3.5
6	1,000	M4.5
7	10,000	M5.5
8	100,000	M6.5
9

表E 0.5μm时的等级比较

ISO	ISO14644-1	FED STD 209E
1	-	-
2	4	-
3	35	35.3
4	352	353
5	3,520	3,530
6	35,200	35,300
7	352,000	353,000
8	3,520,000	3,530,000
9	35,200,000	-

洁净室系列标准是ISO标准的一个新体系，其工作由ISO/TC 209“洁净室和相关的控制环境”负责。此技术小组是在环境科学和技术学院（IEST）的协助下，由来自34个国家的1，000多名自愿者组成的。从现在到1999年底，TC209发行的10个标准将成为正式的ISO标准。

各标准的题目和发行时间如下：

ISO文件	题目	发行时间和形式
ISO-14644-1	空气洁净度的分类	97年10月FDIS（发行时间已延迟到98年10月）
ISO-14644-2	洁净室的鉴定测试	97年10月DIS
ISO-14644-4	洁净室的设计和结构	97年10月DIS
ISO-14698-1	生物污染的一般原则	97年10月DIS
ISO-14698-2	生物污染数据的鉴定和分析	97年10月DIS
ISO-14698-3	表面的生物污染控制	98年6月DIS
ISO-14644-3	测量学和测试方法	98年9月DIS
ISO-14644-5	洁净室的操作	98年10月DIS
ISO-14644-7	微观环境和绝缘体	98年10月DIS
ISO-14644-6	术语、定义和单位	99年2月DIS

ISO14644 1-8中英文完整版请参考：http://www.iwuchen.com/a-163/