洁净室用的真空吸尘设备分为移动式真空吸尘器和集中式真空吸尘系统。在能满足清扫要求的情况下，宜优先采用移动式真空吸尘器。
洁净室面积<1000m2者宜用移动式真空吸尘器。<500m2选两台，每增加500m2增加一台。
洁净室面积>l000m2时，也可采用集中式真空吸尘系统。
5.7.2 当选用移动式真空吸尘器时，必须选用带预过滤器和高效过滤器的设备。
5.7.3 集中式真空吸尘泵应尽量靠近负荷中心。因真空吸尘泵噪声较大，应尽量安装在具有吸声性能的房间内。真空吸尘泵应有隔振措施，吸人端应装集尘器，排出端应装消声器。经消声后排出口的噪声值应符合所在地区的噪声标准，如无具体要求，可按不大于80～85dB (A)考虑。
5.7.4 集中式真空吸尘系统的管道宜采用无缝钢管，焊接连接，暗装敷设。弯头的曲率半径应为4～6倍的管径，弯头的煨弯不应出现折皱。三通夹角宜为30o，最大不超过45o。四通应采用两个错开的斜三通作法。水平吸尘管道的坡度宜为0.001～0.003，坡向立管或集尘点。
5.7.5 吸尘嘴的型式应根据被清扫对象的情况确定。每个吸尘嘴(直径为40mm)的吸风量宜取140～150m3/h。系统同时工作的吸尘嘴数(n)可按下式计算：
5.7.6 每个洁净室内的吸尘口数量，除按室内被清扫面积进行计算外，尚应根据吸尘软管的作用半径确定，作用半径一般可按不大于12m考虑，以便洁净室各点都能清扫到。
5.7.7 真空吸尘系统管道内的风速按表5.7-2选用。
