文件编号：XXX
检测编号：
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被测单位 |
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洁净级别 |
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气流形式 |
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测试状态 |
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检测日期 |
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测试依据 |
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报告日期 |
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测试仪器厂家及编号: |
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记录0.5μm、5μm粒子数:采样流量为2.83L/min;采样周期为1min；（单位:粒/m3） |
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洁净室/区 |
采 |
粒子 |
C1 |
C2 |
C3 |
平均值A=C1+C2+C3 |
平均值的均值 |
标准误差 |
置信上限UCL=M +t×SE |
结果 |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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评定标准:
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注：（1）A1,A2–某一采样点的平均粒子浓度； UCL–平均值均值95%置信上限；
L–某一洁净室/区内的总采样点数，个； t–95%置信上限的t分布系数（6.31）；
文件编号：XXX
检测编号： 检测日期：
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洁净室/区 |
采 |
粒子 |
C1 |
C2 |
C3 |
平均值A=C1+C2+C3 |
平均值的均值 |
标准误差 |
置信上限UCL=M +t×SE |
结果 |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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|
5 μm |
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|
5μm |
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|||||||
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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|||||||
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2 |
0.5μm |
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|
5 μm |
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|
5μm |
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1 |
0.5μm |
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|
0.5μm |
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|
5μm |
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|||||||
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2 |
0.5μm |
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|
5 μm |
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|
5μm |
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1 |
0.5μm |
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|
0.5μm |
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|
5μm |
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|||||||
|
2 |
0.5μm |
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|
5 μm |
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|
5μm |
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|||||||
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1 |
0.5μm |
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5μm |
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|||||||
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2 |
0.5μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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|
5μm |
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2 |
0.5μm |
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|
5μm |
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1 |
0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5μm |
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检测者： 复核者： 共 页 第 页
检测编号： 检测日期:
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