洁净室(区)尘埃粒子数测试记录表参考

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2012年12月26日  点击数:9645

                                                                     文件编号:XXX

检测编号:

被测单位

 

洁净级别

 

气流形式

 

测试状态

  

检测日期

 

测试依据

 

报告日期

 

测试仪器厂家及编号:

 

记录0.5μm5μm粒子数:采样流量为2.83L/min;采样周期为1min;(单位:/m3

洁净室/



粒子
直径

C1

C2

C3

平均值A=C1+C2+C3
  3
           

平均值的均值
M=(A1+A2)/L

标准误差
SE

置信上限UCL=M +t×SE

结果
评定

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

评定标准:
 

 

注:1A1,A2--某一采样点的平均粒子浓度; UCL--平均值均值95%置信上限;                                                                

  L--某一洁净室/区内的总采样点数,个;  t--95%置信上限的t分布系数(6.31);                             

                                                                                                            

 

                                                                     文件编号:XXX

检测编号:                                             检测日期:

洁净室/



粒子
直径

C1

C2

C3

平均值A=C1+C2+C3
  3
           

平均值的均值
M=(A1+A2)/L

标准误差
SE

置信上限UCL=M +t×SE

结果
评定

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

0.5μm

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

5

μm

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

 

1

0.5μm

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

2

0.5μm

 

 

 

 

 

 

 

 

5μm

 

 

 

 

检测者:                               复核者:                              页 第 

 

检测编号:                                             检测日期:                          

 

 

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