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一种无尘车间的送排风结构技术领域 本实用新型公开一种无尘车间结构，特别是一种无尘车间的送排风结构。 背景技术 随着电子产品越来越精密化，越来越多的电子产品对生产环境的要求也越来越高，很...062026/05
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一种特别的无尘车间传递窗技术领域 本实用新型涉及一种传递窗，特别是一种特别的无尘车间传递窗。 背景技术 在生产中，许多产品对生产环境要求很高，需要在无尘车间中完成生产作业。由于无尘车间...062026/05
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半导体净化工程中公用动力系统的能源互补再利用1 公用动力系统简介 华虹 NEC（FAB1）的公用动力系统的主要相关参数如下： （1）干燥压缩空气系统（CD A），主要用作精密的半导体工艺设备中气动元件的驱...062026/05
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半导体净化工程中公用动力系统的能源互补再利用（续）（4）RTWD 螺杆热泵项目 RTWD 螺杆热泵机组是一台小型冷冻机，但是与常规的冷冻机相比，其冷却水侧的出口温度可以达到 55℃以上，此项节能改造，就是在热水...062026/05
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半导体净化工程中公用动力系统的能源互补再利用（再续）（5）冷冻机房节能改造 节能技改主要从四个方面进行改进，以减少制冷空调系统的整体能耗，一是增大冷冻机冷冻水进出水温差，降低冷冻水流量，在维持供冷量不变的前提下降...062026/05
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谈谈地源热泵技术在净化工程中应用发展前景1 地源热泵技术的工作原理 地源热泵技术工作原理是一种利用浅层地热资源（也称地能，包括地下水、土壤或地表水等）的既可供热又可制冷的高效节能空调设备。地源热泵技术...062026/05
