| ISO分级 | 大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度（颗/m3） | |||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| ISO1级 | 10 | 2 | ||||
| ISO2级 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO3级 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO4级 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| ISO5级 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| ISO6级 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| ISO7级 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
| ISO8级 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
| ISO9级 | 35200000 | 8320000 | 293000 | |||
其FDIS版本只需进行最后的修改和投票。它即将成为ISO/TC209在1998年年中发行的第一份正式标准。ISO14644-1把空气洁净度分为9个等级，比美国联邦标准209E多出3个等级（请参见表C和表D）。微粒数量触发点（trigger points）在ISO14644-1和FS209E之间只存在细微的差别（请参见表E）。请注意：所有的ISO数据都是以公制为基础的。
表C 14644-1
空气中的悬浮粒子的洁净度等级
| 等级 | 每立方米微粒的数量（单位：μm） | |||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| ISO1 | 10 | 2 | ||||
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
| ISO5 | 100,000 | 23,000 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| ISO6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
| ISO8 | 3,252,000 | 832,000 | 29,300 | |||
| ISO9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | |||
表D空气中的悬浮粒子的洁净度等级的对比
| ISO 14644-1 | FED STD 209E | |
| 1 | ||
| 2 | ||
| 3 | 1 | M1.5 |
| 4 | 10 | M2.5 |
| 5 | 100 | M3.5 |
| 6 | 1,000 | M4.5 |
| 7 | 10,000 | M5.5 |
| 8 | 100,000 | M6.5 |
| 9 | ||
表E 0.5μm时的等级比较
| ISO | ISO14644-1 | FED STD 209E |
| 1 | – | – |
| 2 | 4 | – |
| 3 | 35 | 35.3 |
| 4 | 352 | 353 |
| 5 | 3,520 | 3,530 |
| 6 | 35,200 | 35,300 |
| 7 | 352,000 | 353,000 |
| 8 | 3,520,000 | 3,530,000 |
| 9 | 35,200,000 | – |
洁净室系列标准是ISO标准的一个新体系，其工作由ISO/TC 209“洁净室和相关的控制环境”负责。此技术小组是在环境科学和技术学院（IEST）的协助下，由来自34个国家的1，000多名自愿者组成的。从现在到1999年底，TC209发行的10个标准将成为正式的ISO标准。
各标准的题目和发行时间如下：
| ISO文件 | 题目 | 发行时间和形式 |
| ISO-14644-1 | 空气洁净度的分类 | 97年10月FDIS（发行时间已延迟到98年10月） |
| ISO-14644-2 | 洁净室的鉴定测试 | 97年10月DIS |
| ISO-14644-4 | 洁净室的设计和结构 | 97年10月DIS |
| ISO-14698-1 | 生物污染的一般原则 | 97年10月DIS |
| ISO-14698-2 | 生物污染数据的鉴定和分析 | 97年10月DIS |
| ISO-14698-3 | 表面的生物污染控制 | 98年6月DIS |
| ISO-14644-3 | 测量学和测试方法 | 98年9月DIS |
| ISO-14644-5 | 洁净室的操作 | 98年10月DIS |
| ISO-14644-7 | 微观环境和绝缘体 | 98年10月DIS |
| ISO-14644-6 | 术语、定义和单位 | 99年2月DIS |
ISO14644 1-8中英文完整版请参考：https://www.iwuchen.com/a-163/
