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洁净室工作环境监控记录表

2026-05-06
文件编号 QRS-FS05-64-63-01-0 使用编号  

                洁净室工作环境监控记录表

检测区域：                      记录人：                                    年        月

日期

时间

检测项目

结论

 温度（℃）

18～26℃

 湿度（%）

45～65%

压差（Pa）

洁净区内

ㄒ5

洁净/室外

ㄒ10

           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
             
           
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