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洁净室工作环境监控记录表

2026-05-06

文件编号

QRS-FS05-64-63-01-0

使用编号

洁净室工作环境监控记录表

检测区域：记录人：年月

日期	时间	检测项目				结论
		温度（℃） 18～26℃	湿度（%） 45～65%	压差（Pa）
		温度（℃） 18～26℃	湿度（%） 45～65%	洁净区内ㄒ5	洁净/室外ㄒ10

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