洁净室有较多的测试项目,如正负压,菌落数,温湿度,尘粒数,噪音,振动等等。这些测试项目可根据产品生产要求来合理对洁净室进行检测,这样既保证产品质量,又可节省费用。
故在iwuchen整理了洁净室验收测试时必要检测的三个项目在下面以供参考。
| 检测项目 | 常用仪器 | 检测、要求、方法 | 数据整理 | 合格标准 | |
| 风
量 |
系统总风量 | 热球式电风速仪或比托管 | 用风管法测量,风管截面分成等面积区域,多点测定,每个小面积不大于0.05m2(方管小面积边长
≤200mm)要注意选稳定管段,前5倍后3倍。 |
多点风速的算术平均值X截面面积 | 设计风量100%–120% |
| 系统新风量 | 设计风量±10% | ||||
| 非单向流
各室送风量 |
热球式风速仪 | 用风口法:加辅助套筒,按风管法分区测量风速。 | 平均风速X套角面积,多个风口之和 | 设计风量±15% | |
| 单向流
风速和风量 |
同上 | 横截面积X平均风速,横截面距送风面0.3m,布点间距≤0.6m,最少5测点 | 多点算术平均值X横截面积 | 0.3~0.5(1-4级)0.2~0.5(5级) | |
| 静
压差 |
静压差 | 倾斜式微压计,精密指针式微压计,最小可测1Pa | 关门、测压管通过口尽量密封、管口避开气流,只测一个点。 | 直接记录 | 级别不同的邻室之间≥5Pa
洁净区→非洁区≤10Pa |
| 平行流附加 | 粒子计数器 | 打开与低级别相通的门,在门中0.6m处工作面测洁净度。 | 参照洁净度测法 | 应不大于该级别上限值 | |
| 洁净度 | 白炽光粒子计数器,激光粒子计数器。 | 布点≥房间面积1/2采样量:在该级别上限值数字下,采够20个。
人员:穿洁净服≤2人进入。 |
10点以上取算术平均值
10点以下要算标准偏差及置信度 |
在事先约定状态下,不超过其级别上限值 | |