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洁净室验收必测的项目主要有哪些?

2026-05-06

洁净室验收必测的项目主要有哪些?

洁净室有较多的测试项目,如正负压,菌落数,温湿度,尘粒数,噪音,振动等等。这些测试项目可根据产品生产要求来合理对洁净室进行检测,这样既保证产品质量,又可节省费用。

故在iwuchen整理了洁净室验收测试时必要检测的三个项目在下面以供参考。

检测项目 常用仪器 检测、要求、方法 数据整理 合格标准

系统总风量 热球式电风速仪或比托管 用风管法测量,风管截面分成等面积区域,多点测定,每个小面积不大于0.05m2(方管小面积边长

≤200mm)要注意选稳定管段,前5倍后3倍。

多点风速的算术平均值X截面面积 设计风量100%–120%
系统新风量 设计风量±10%
非单向流

各室送风量

热球式风速仪 用风口法:加辅助套筒,按风管法分区测量风速。 平均风速X套角面积,多个风口之和 设计风量±15%
单向流

风速和风量

同上 横截面积X平均风速,横截面距送风面0.3m,布点间距≤0.6m,最少5测点 多点算术平均值X横截面积 0.3~0.5(1-4级)0.2~0.5(5级)

压差

静压差 倾斜式微压计,精密指针式微压计,最小可测1Pa 关门、测压管通过口尽量密封、管口避开气流,只测一个点。 直接记录 级别不同的邻室之间≥5Pa

洁净区→非洁区≤10Pa

平行流附加 粒子计数器 打开与低级别相通的门,在门中0.6m处工作面测洁净度。 参照洁净度测法 应不大于该级别上限值
洁净度 白炽光粒子计数器,激光粒子计数器。 布点≥房间面积1/2采样量:在该级别上限值数字下,采够20个。

人员:穿洁净服≤2人进入。

10点以上取算术平均值

10点以下要算标准偏差及置信度

在事先约定状态下,不超过其级别上限值