1.净化工程验收方案
净化工程施工结束，由投标方向招标方提出验收时间和参与验收人员数量，由招标方批准，届时给予验收。
如果招标方在投标方提出验收7日内无回复，则工程被认为自动通过验收。
2.净化工程验收方法和指针
2.1等级标准
a洁净度等级标准:美国联邦标准(FS-209E)
| 等级名称 | 等 级 限 值 | ||||
| 0.1μm(ft3) | 0.2μm(ft3) | 0.3μm(ft3) | 0.5μm(ft3) | 5μm(ft3) | |
| 1 | 35 | 7.5 | 3 | 1 | – |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | – |
| 100 | – | 750 | 300 | 100 | – |
| 1000 | – | – | – | 1000 | 7 |
| 10000 | – | – | – | 10000 | 70 |
| 100000 | – | – | – | 100000 | 700 |
注:表中数字为各级标准中所允许的粒子数上限值(颗粒数/ ft3)
b洁净室温湿度标准:
以洁净室内生产工艺（甲方）要求为测试标准。
c洁净室噪声标准：
静态状态:室内噪声级≤65d B (A)
本底噪声干扰扣除量参照下表:
| 相差量( d B ) | 6 ~ 9 | 4 ~ 5 | 3 |
| 扣除量( d B ) | 1 | 2 | 3 |
注：由于技术经济条件限制，或噪声大于70d B（A）对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于75d B（A）。
d洁净室照度标准:
以<<洁净室施工验收规范>>为标准，照度要求：300Lx。
注：以测试结果的平均值来衡量。
e洁净室正压标准：
洁净区与非洁净区大于等于10Pa，其它房间大于等于5Pa
2.2测试环境
a净化空调单机设备和系统调试完成并至少运行24小时后;
b洁净室及净化空调系统已全面彻底清扫,并于清扫后由身着洁净服的人员擦拭表面完成;
c测试及调整应在空态或静态下进行;
d测试人员不应多于3人。
2.3测点分布
a测点间距0.5-2.0m;
b层流洁净室测点总数不应少于20点;
c水平层流洁净室测点仅分布在第一洁净工作区。
d采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作区的高度
（离地点0.8m）。每个采样点的最小时间为1min，采样量至少为2L。
e当洁净室或洁净区仅有一个采样点时，则在该点应至少采样3次。
f测点位置:距墙1.0m,高度0.8 ~1.5m工作区域
g最低限度采样点数（NL）:
NL=A0.5
式中 NL——最少采样点
A——洁净室或被控洁净区的面积（M2）
2.4测量仪器:
a 洁净度测量仪器规范要求:光散射激光粒子计数器
使用仪器:美国MetOne 227A型掌上型激光粒子计数器
仪器性能:流 量:0.1 ft3/min
灵 敏 度: 0.5μm
采样粒径: 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm, 3.0μm,5.0μm
测量方式:粒子浓度或单位时间内粒子数
b 温湿度测量仪器规范要求:温湿度测试仪
使用仪器: TES 1360温湿度测试仪
仪器性能:精 度:0.1℃ 0.1％RH
测量范围: -20℃～60℃
10％～95％RH
c 噪声测量仪器规范要求:声级计，频率分析仪，或自动记录仪
使用仪器:台湾LUTRON SL-4001声级计
仪器性能:精 度: 0.1 d B
测量范围: 30 ~ 130 d B
A声级或C声级
d 照度测量仪器规范要求:照度测试仪
使用仪器: ILLUMINOMETER MODEL 5200照度测试仪
仪器性能:精 度: 1 Lx
测量范围: 0 ~ 1000 Lx
