| 洁净室系统组成 | 系统单项工程 | 材料/设备 | 控制目标 | 要求 | |
| 结构装修系统 | 隔墙 | 彩钢板、玻璃墙 | 洁净度、压差 | 不产尘、不积尘、易清洁 | |
| 天花吊顶 | 彩钢板 | 洁净度、压差 | |||
| 地面 | 环氧树脂、PVC | 洁净度、防静电 | |||
| 门窗 | 铝合金门窗 | ||||
| 通风空调系统 | 制冷系统 | 冷水机组 | 普通 | 经济、耐用、适用、易维护 | |
| 水泵 | 普通 | ||||
| 冷水管道 | 无缝钢管 | ||||
| 通风空调系统 | 空调组合柜 | 洁净空调机组 | 洁净度、温度、湿度 | ||
| 风管 | 洁净风管 | 噪声 | |||
| 高效送风口 | 静压箱+高效过滤器 | 洁净度 | |||
| 臭氧发生器 | 沉降菌 | ||||
| 电气系统 | 照明 | 洁净灯 | 照度 | 经济、耐用、适用、易维护、不积尘 | |
| 动力配电、插座 | 暗装/嵌入式 | ||||
| 弱电(电话、网络、监控等) | 暗装/嵌入式 | ||||
| 消防报警 | |||||
| 管道系统 | 生活给水管(自来水) | PPR、不锈钢、复合材料 | 不积尘、易清洁、耐用 | ||
| 排水管 | PVC、不锈钢、复合材料 | ||||
| 纯水管 | 不锈钢、复合材料 | ||||
| 压缩空气管 | 不锈钢、复合材料 | ||||
| 氮气管 | 不锈钢、复合材料 | ||||
| 蒸气管 | 不锈钢、复合材料 | ||||
| 真空管 | 不锈钢、复合材料 | ||||
| 消防水系统(喷淋、消火栓) | 无缝钢管 | ||||