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G1 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý5.0¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊE¡Ý20% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼C1)
G2 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý5.0¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊ50£¾E¡Ý20% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼C2~C4)
G3 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý5.0¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊ70£¾E¡Ý50% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼L5)
G4 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý5.0¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊ90£¾E¡Ý70% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼L6)
ÖÐЧ¹ýÂËÆ÷·ÖΪÁ½¼¶(F5~~F6)£º
F5 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý1.0¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊ50£¾E¡Ý30% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼M9¡¢M10)
F6 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý1.0¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊ80£¾E¡Ý50% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼M11¡¢M12)
¸ßÖÐЧ¹ýÂËÆ÷·ÖΪÈý¼¶£¨F7~~F9£©£º
F7 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý1.0¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊ99£¾E¡Ý70% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼H13)
F8 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý0.5¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊ90£¾E¡Ý75% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼H14)
F9 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý0.5¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊ99£¾E¡Ý90% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼H15)
ÑǸßЧ¹ýÂËÆ÷·ÖΪÁ½¼¶(H10¡¢H11)£º
H10 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý0.5¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊ99£¾E¡Ý95% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼H15)
H11 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý0.5¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊ99.9£¾E¡Ý99% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼H16)
¸ßЧ¹ýÂËÆ÷·ÖΪÁ½¼¶(H12¡¢H13)£º
H12 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý0.5¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊE¡Ý99.9% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼H16)
H13 ЧÂÊ ¶ÔÁ£¾¶¡Ý0.5¦Ìm,¹ýÂËЧÂÊE¡Ý99.99% (¶ÔÓ¦ÃÀ¹ú±ê×¼H17)