无尘室管理规定及制度条文说明

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2012年07月17日  点击数:8549

无尘室管理规定及制度条文说明


无尘室管理规定


目录 (Table of content)


1.   大纲(Introduction)

1.1  范围(Scope)

1.2 目的(Purpose)

2.  引用文件(Reference document) 

3.  名词定义(Definition)

4. 无尘室管理规范程序

4.1 无尘室洁净度等级区分及区域定义

4.1.1 面板前段工厂

4.1.2 面板后段工厂

4.1.3 模块工厂

4.2 无尘衣/鞋/帽穿著使用规定

4.2.1 无尘衣等级区分

4.2.2 无尘鞋等级区分

4.2.3 无尘帽等级区分

4.2.4 各区无尘衣穿著规定

4.2.5 无尘衣换洗规定

4.2.6 无尘衣之破损与缝补

4.3 无尘室进入资格之取得

4.3.1 一般员工

4.3.2 高阶主管

4.3.3 来宾(厂商)

4.3.4 无尘室进入资格取得之流程

4.4 无尘室进入资格之取消

4.5 无尘室资格考试

4.6 无尘室进出管制规定

4.6.1 人员之限制

4.6.2 物品之限制

4.7 进入无尘室之程序

4.7.1 人员进入无尘室之流程

4.7.2 物品进入无尘室之流程

4.7.3 仪器设备进入无尘室之流程

4.8 无尘衣穿著程序

4.8.1 连身式无尘衣穿著程序

4.8.2 披肩式无尘衣穿著程序

4.8.3 大衣式静电袍穿著程序

4.9 无尘衣穿著步骤

4.9.1 连身式无尘衣穿著步骤

4.9.2 披肩式无尘衣穿著步骤

4.9.3 大衣式静电袍穿著步骤

4.10 无尘衣穿著注意事项

4.11 无尘衣穿著检查要项

4.12 无尘室一般禁止及注意事项

4.13 黄光室特别注意事项

4.14 来宾(厂商)进入无尘室注意事项

4.15 无尘室安全注意事项

4.16 无尘室环境条件控制

5. 使用表单(Form used)

6. 变更记录(Change Record)



1. 大纲(Introduction)


1.1范围(Scope)

凡进入无尘室内所有人、机器设备、物品、原物料、产品……等,均属本规范之管制范围。


1.2目的(Purpose)

为维持无尘室内洁净度,管制污染源控制环境参数,特对于无尘室内之人、机器设备、物品、原物料等加以管制,以便能确保无尘室内洁净度符合产品制程之需求,提高产品品质。



2. 参考文件(Referenced Document)


美国联邦标准209D(U.S. FEDERAL STANDARD 209D)

MS-5103 无尘无菌室运转管理指针(GUIDANCE FOR OPERATION OF CLEAN ROOM)



3. 名词定义(Definition)


本规范除下列所述名词外,均依照JIS Z 8122(Contamination Control术语)。

无尘室Particle被控制在规定值内之房间

粒子(Particle)一般而言指0.001至1000μm之粒径的固体或液体之物质



4.无尘室管理规范程序


4.1无尘室洁净度等级区分及区域定义

4.1.1 面板前段工厂

 A区(Class 100级):包含黄光室及组合室。

 B区(Class 1000级):除A、C区以外之其它面板前段生产区。

 C区(Class 10000级):包含投片室。


4.1.2面板后段工厂

 D区(Class 1000级):面板后段无尘室(液晶注入室)。

 E区(Class 1000级):面板后段贴片区(Clean Booth内)。

 F区(Class 10000级):面板后段一般区。


4.1.3 模组工厂

  G区(Class 1000级):模组无尘室(COG室)。

  H区(Class 1000级):模组酵砚区(Clean Booth内)。

  I区(Class 10000级):模组一般区。


4.2无尘衣/鞋/帽穿著使用规定

4.2.1 无尘衣等级区分

     连身式无尘衣:Class 100级、白色、苹果绿色、蓝色、绿色、淡黄色(蓝色为工程员使用、绿色为施工及未认证人员使用、淡黄色为来宾使用) 。

     披肩式无尘衣:Class 1000级、白色、蓝色、淡黄色(蓝色为工程员使用、淡黄色为来宾使用)。

     大衣式静电袍:Class 10000级、白色、蓝色、淡黄色(蓝色为工程员使用、淡黄色为来宾使用)。


4.2.2无尘鞋等级区分

  长统式无尘鞋:Class 100级、白色、苹果绿色、蓝色、绿色、黄色 (蓝色为工程员使用、绿色为施工及未认证人员使用、黄色为来宾使用)

  开孔式静电鞋:Class 10000级、白色(来宾使用不织布鞋套)。


4.2.3无尘帽等级区分

     连身式无尘帽:Class 100级、白色、苹果绿色、蓝色、绿色、黄色(与无尘衣连在一起)。

     披肩式无尘帽:Class 1000级、白色、蓝色、黄色、粉红、浅红、深红(蓝色为工程员及技术员使用、黄色为来宾使用、粉红为QC使用、浅红为制造部物料员使用、深红为制造部组长使用)。

     蝴蝶式无尘帽:Class 1000级、白色、蓝色、黄色、粉红、浅红、深红(蓝色为工程员及技术员使用、黄色为来宾使用、粉红为QC使用、浅红为制造部物料员使用、深红为制造部组长使用)。


4.2.4各区无尘衣穿著规定

A、B区:

1. 管理、生产等工作人员,在A区及B区内工作时,均须穿著白色或苹果绿色连身式无尘衣、长统式无尘鞋、戴网帽、口罩及手套。

2. 制程、设备及研发人员在A区及B区内工作时,则穿著蓝色连身式无尘衣、披肩帽、长统式无尘鞋、戴网帽、口罩及手套。

3. 品管在A区及B区内工作时,均须穿著粉红色连身式无尘衣、长统式无尘鞋、戴网帽、口罩及手套。

4. 施工及未认证人员,均须穿著绿色连身式无尘衣、长统式无尘鞋、戴网帽、口罩及手套。

5. 来宾则穿著来宾专用黄色连身式无尘衣、披肩帽、长统式无尘鞋套、戴网帽、口罩及手套。


 D、G区: 

1. 管理、生产、品管等工作人员,均须穿著白色或蓝色披肩式无尘衣、披肩帽、长统式无尘鞋,戴网帽、口罩及手套(物料员使用浅红4色披肩帽、制造部组长使用深红色披肩帽、技术员使用蓝色披肩帽、品管使用粉红色披肩帽)。

2. 制程、设备及研发人员,则穿著蓝色披肩式无尘衣、披肩帽、长统式无尘鞋、戴网帽、口罩及手套。 

3. 来宾则穿著来宾专用黄色披肩式无尘衣、披肩帽、长统式无尘鞋套、戴网帽、口罩及手套。


C、F、H、I区:

1. 管理、生产、品管等工作人员,均须穿著白色或蓝色大衣式静电袍、蝴蝶帽、开孔式无尘鞋(物料员使用浅红色蝴蝶帽、制造部组长使用深红色蝴蝶帽、技术员使用蓝色蝴蝶帽、品管使用粉红色蝴蝶帽)。

2. 制程、设备及研发人员,则穿著蓝色大衣式静电衣、蝴蝶帽、开孔式无尘鞋。

3. 来宾则穿著来宾专用黄色大衣式静电袍、蝴蝶帽、不织布鞋套。


4.2.5无尘衣换洗规定

无尘衣等须二周定期清洗,由外包专业洗衣厂统一清洗,并送回厂内,以维持无尘衣之清洁。


4.2.6无尘衣之破损与缝补

无尘衣若有破损、拉炼损坏、松紧带松弛、魔术粘掉落….等情况发生时,该件即应立即停止使用,若可修补者应将其置于待修补区,若已达无法修补者则应将其报废,领用新品使用。


4.3无尘室进入资格之取得

4.3.1 一般员工:凡经常于无尘室内工作或不定期会进入无尘室者,均应先由制造部上过『无尘室管理规范』或其它相关课程,并通过考试合格后,才具无尘室进出资格,考试合格人员由制造部造册列管,然后才可向制造部领取无尘衣等相关物品。


4.3.2 高阶主管:熟知并了解无尘室管理规范及其它各项相关规定后,即具无尘室进出资格。

(高阶主管定义:指董事长、总经理、副总经理等)


4.3.3 来宾(厂商):应由接待部门具无尘室出入资格者,先行讲解无尘室内各项规定及注意事项后,始可在相关人员全程陪同下进入无尘室。


4.3.4无尘室进入资格取得之流程:


4.4无尘室进入资格之取消

若有下列情况发生时则取消其无尘室进入资格:

   4.4.1.人员离职时或留职停薪期间超过3个月者。

   4.4.2.1个月内累计违反无尘室管理规范或其它各项相关规定,被品管或稽核人员登记达2次(含)以上者。

   4.4.3违反无尘室管理规范或其它各项相关规定情节重大者。

   4.4.4无尘室管理规范或其它各项相关规定有大幅度之修改,而需取得重新认证时。


4.5无尘室资格考试

   考前准备:考试前应由制造部统一讲授 -- 无尘室管理规范及其它各项相关规定。

   测验卷:共有A、B、C、D共4份测验卷,每份均为15题选择题及10题是非题,每题4分,采不倒扣方式计分。

   考试时间:10分钟。

   及格分数:80分。

   补考规定:第一次测验不合格者,得经再上课后补考一次,若仍不合格者即无法取得无尘室工作资格。


4.6无尘室进出管制规定

4.6.1人员之限制

     (1) 公司员工:因职务之需要必须进入无尘室内工作者,须先上过『无尘室管理规范』及其它无尘室相关规定之课程,并通过考试及格后,才可进入无尘室。

     (2) 非公司员工:为维持无尘室洁净度之要求及避免生产作业受到不必要之干扰,以确保产品之品质,除下列情况外,均谢绝进入无尘室参观:

    督导单位长官或评鉴/稽核人员视察。

    重要客户或供货商了解现场作业情况。

    仪器/设备之维修工程师或外包施工厂商。

    本公司聘雇之顾问或专家。

    (3) 非公司员工进入无尘室时,必须有接待或相关部门人员全程陪同。

    (4) 来宾进入无尘室之申请程序:来宾须进入无尘室时,应由接待或相关部门人员向制造部主管提出申请,取得核准后始可进入无尘室。

    (5) 进入无尘室均须刷卡进入。


注:有下列健康状况或体质者原则上不能进入无尘室

a. 因日晒、湿疹、或烫伤而皮肤有问题者。

b. 对化学纤维有过敏性体质者。

c. 对溶剂等化学药剂有过敏性体质者。

d. 容易流汗或出手汗者。

e. 容易流鼻涕或从鼻子常流出排出物者。

f. 常咳嗽、打喷嚏或患气喘病者。

g. 经常有搔抓习惯者。

h. 有精神病、神经过敏或闭锁性恐惧症者。


4.6.2 物品之限制

    (1) 非生产或工作所需之物品一律禁止携入无尘室。

    (2) 面板前段纸类物品(非无尘纸)禁止携入无尘室,若必须携入时则须塑封或加塑料护套。

    (3) 下列物品一律禁止携入无尘室:(原文链接:http://www.iwuchen.com/a-130/)

 铅笔、橡皮擦、修正液(修正带)等易发尘或挥发之文具(仅A、B、C、D、G区)。

 普通纸类、纸箱、普通笔记簿、纸制活页夹等(仅A、B、C区)。

 木制物品且表面无聚乙稀等物质包覆者。

 铁制物品且未作防锈处理而有生锈之虞者。

 脏污或外表生锈之物品。

 保丽龙类物品(仅A、B、C、D、G区)。

 其它易污染环境或制造particle之物品。

    (4) 物品携入无尘室前,必须先擦拭干净,才可带入无尘室。


4.7进入无尘室之程序

4.7.1人员进入无尘室(CR)之流程:

4.7.2物品进入无尘室之流程:

4.7.3仪器设备进入无尘室之流程:

进入<a href=无尘室流程" />



4.8无尘衣穿著程序

4.8.1连身式无尘衣穿著程序:

  (脱衣程序则为反向)


4.8.2披肩式无尘衣穿著程序:

  (脱衣程序则为反向) 


4.8.3 大衣式静电袍穿著程序:

(脱衣程序则为反向)

无尘衣穿著程序



4.9 无尘衣穿著步骤

4.9.1 连身式无尘衣穿著步骤

      戴上网帽

      -先确认衣服正面朝前并穿上双袖

      套在头上,露出脸部

      穿上裤脚

      将胯下拉炼由一端拉至另一端(拉炼开口不可露出,必须被长统无尘鞋盖住)

      穿上无尘鞋

      将头部魔鬼粘扣上

      戴上口罩并扣上颈部魔鬼粘


4.9.2 披肩式无尘衣穿著步骤

      戴上网帽

      -戴上披肩帽

      穿上无尘衣(披肩帽缘须被无尘衣包住)并拉上拉炼及扣上领扣

      穿上无尘鞋


4.9.3 大衣式静电袍穿著步骤

      穿上大衣式静电袍

     - 穿上静电鞋

      戴上蝴蝶帽


4.10无尘衣穿著注意事项

(1) 换下之拖鞋请整齐置于指定处所。

(2) 清洗干净且包装好之无尘衣/鞋/帽等,请放置于个人衣柜内。

(3) 使用中之无尘衣,应整齐吊挂于Clean Booth(HEPA)之衣架上,以维持高洁净度

(4) 换穿无尘衣过程中,应尽量避免无尘衣接触地面。

(5) 戴网帽时应尽量将头发、耳朵都包覆在内,勿使其外露。

(6) 无尘衣拉炼均应拉到底;扣子应扣好;魔术粘亦应粘妥。

(7) 无尘衣穿著应松紧适中,不可过松或太紧(可利用腰带来调整松紧度)。

(8) 无尘衣若有破损时,不可继续穿著,应修补后才可使用(若不堪修补时应报废更换新品)。

(9) 穿无尘鞋时,应穿著袜子以维持个人卫生。

(10) 穿无尘鞋时应全脚穿入,不可踩住鞋后跟。

(11) 穿上无尘衣后,便服裤脚不可外露应包覆在无尘衣内。

(12) 口罩应遮住口、鼻不使其外露。

(13) 手套应完全塞入无尘衣之袖口内。

(14) 穿著无尘衣或戴口罩、手套时,不可边走边穿戴。

(15) 披肩帽应压在无尘衣内,帽缘不可外露。

(16) 无尘室内不可打瞌睡。

(17) 原则上网帽、口罩、手套之更换频率如下:

         网帽每周更换一次,若脏污或破损时则立即更换。

         口罩每2天更换一次,若脏污或破损时则立即更换(一次性纸口罩每次进出更换一次)。

         手套每次进出更换一次,若脏污或破损时则立即更换。

         指套每次二小时更换一次,若进出工厂或脏污、破损时则立即更换(因贴片站作业情况特殊,指套需半小时更换一次)。


4.11 无尘衣穿著检查要项

 穿好无尘衣进入Air Shower前,应于镜子前检查下列各项:

(1) 头发、网帽不可外露。

(2) 口、鼻不可外露。

(3) 裤脚不可外露(大衣式静电袍除外)。

(4) 无尘衣、鞋不可破损或脏污。

(5) 无尘衣、鞋之拉炼、扣子、魔术粘等,应拉好不可松脱。

(6) 手套端缘不可外露。

(7) 无尘衣、帽之识别名牌,应贴合固定牢靠。(新人尚无识别名牌者不在此限)

(8) 披肩帽帽缘不可外露。


4.12 无尘室一般禁止及注意事项

(1) 未取得无尘室进入资格者,不得进入无尘室。

(2) 严禁裸手接触产品。

(3) 表单、Run Card、记录簿等应确实小心填写,任何涂改必须于旁边签名及日期。

(4) 手套应保持干燥清洁,并且不可在手套上涂写。

(5) 严禁坐卧桌面、脚踏板、地板、垃圾桶、护栏,以及斜靠机台或储存柜。

(6) 若手易出汗或过敏者,可先戴细棉手套再带PVC手套或乳胶手套。

(7) 应随时注意各项公告及标语。

(8) 应主动相互支持,但不可单独操作未认证合格之机台。

(9) 大家应随时取缔、纠正不合规定之人员、物品、标示等,并通知相关主管。

(10) 应随时注意头发、口、鼻不可外露。

(11) 不可将无尘衣、帽等随意置于地板上。

(12) 只能在更衣室内穿、脱无尘衣,不可在其它地方为之。

(13) Air Shower前后两门不可同时开起。

(14) 无尘室内严禁奔跑、嬉戏、喧哗、睡觉等。

(15) 无尘室内严禁吃东西或喝饮料。

(16) 无尘室内应避免多人聚集在一起,以免制造particle。微粒

(17) 剧烈运动或流汗后,不可立即进入无尘室,需待呼吸平稳且不再流汗后,方可进入。

(18) 若有抽烟,须于抽后30分钟并且洗手漱口后,方可进入。

(19) 面板前段不可将一般用纸、笔记本、纸箱、卫生纸、书籍、铅笔、修正液、橡皮擦等非       无尘用品携入无尘室。

(20) 严禁于无尘室内磨、锉、锯,砂纸、磨料….等,亦禁止使用。

(21) 无尘室内工作人员,应保持头发、身体之清洁,并经常盥洗。

(22) 进入无尘室的人员禁止使用香水、口红、发胶及其它化妆品,若有化妆者应先卸妆后才可进入。

(23) 原物料进入无尘室,需先在外面拆箱并擦拭干净后才可进入无尘室。

(24) 不可面对产品、Cassette或机台之chamber交谈。

(25) 即使已戴手套或指套,亦须减少对产品做非必要之碰触。

(26) 无尘室内文件、半成品、物品或生产工具,非经部门主管允许,不可携出。

(27) 谈话时不可拉下口罩交谈。

(28) 在无尘室内使用电话,宜简短扼要,勿占线。

(29) 无尘室内逃生路线,不可有障碍物阻碍逃生。

(30) 无尘室内产品、化学品、Cassette、工具、文件、记录簿……等,应放置整齐。

(31) 进入Air Shower前,双脚应先踏脚踏粘垫,将无尘鞋底之脏污去除。

(32) Air Shower内之正确动作应为双手举起,并缓慢旋转身体(至少三圈)。

(33) 各Air Shower均有规定人数,不可超过所规定人数,若人数过多时应分批进入。

(34) 安全门仅供紧急状况时使用,平时严禁由安全门进出工厂。

(35) 无尘衣/鞋不可穿出无尘室外,静电鞋亦不可穿出工厂外之区域。


4.13 黄光室特别注意事项

(1) 黄光室内最多不得超过5人。

(2) 进入黄光室必须吹Air Shower。

(3) 使用光源时必需小心,以免影响曝光制程。

(4) 生产中,不能有会影响温/湿度之干扰因子进入。

(5) 非必要请勿随意走动或进出频繁。


4.14 来宾(厂商)进入无尘室注意事项

进入无尘室前必须先申请,并取得许可,始可由相关人员陪同进入。

(1) 来宾在无尘室内活动须全程有相关人员陪同。

(2) 无尘室内不可摄影或拍照。

(3) 不可携带违禁品进入无尘室。

(4) 来宾进入无尘室须穿著来宾专用无尘衣(黄色)。

(5) 进入A、B区须着长统无尘鞋套,进入C、D、E、F区则穿著不织布鞋套。

(6) 来宾或厂商进入无尘室,未经允许不可任意触摸、操作机台。


4.15 无尘室安全注意事项

(1) 操作机台前,必须先认证合格取得操作资格后,才可独立操作机台。

(2) 特殊作业请确实依照操作规范之相关规定。

(3) 油、水、化学品等液体漏洒于地面(桌面)或机台时,应迅速清除以免发生危险。

(4) 走道应保持畅通,不可有阻碍,以免妨碍逃生信道。

(5) 无尘室内不可存放易燃品,如系工作所需则必须有安全防护措施。

(6) 机台或无尘室中之各项安全措施,不可任意关闭或by-pass,若有损坏应迅速修复。

(7) 工作人员如发现任何危害安全之行为、物品、状况等时,除立即采取必要措施外,亦应尽速向主管报告。

(8) 工作中应时时注意各项安全警告标语或注意标语,并确实遵守。

(9) 急救箱、灭火器、氧气筒及其它安全急救消防等装备,须置于指定位置。

(10) 各类清洁液、有机溶剂、化学品等之瓶盖,于使用后应立即盖紧。

(11) 于无尘室内进行施工或维修时,若有登高、动火或其它特殊作业时,应先向安全主管部门取得许可并知会生产线。

(12) 应避免单独1人于无尘室内工作。

(13) 各机台仪器及其它电气设备等,应作好接地及绝缘措施。

(14) 操作雷射等高能光源时,眼睛不可直视光源,以免发生危险。

(15) 应每日检查各项安全护具、装备,并保持随时可用之状态。


4.16 无尘室环境条件控制

(1) 面板前段

     温度控制范围:T=(23±1)℃

     湿度控制范围:(50±5).RH

(2) 面板后段

     一般环境区温度控制范围:T<25℃; 湿度控制范围:(62.5±17.5).RH; 

     无尘室温度控制范围:T=(23±2)℃;湿度控制范围:(62.5±17.5).RH

(3)模组

     一般环境区温度控制范围:T<25℃; 湿度控制范围:(65±15).RH; 

     无尘室温度控制范围:T=(23±2)℃;湿度控制范围:(65±15).RH



5. 使用表单


来宾(厂商)进出无尘室申请单

来宾(厂商)进出无尘室记录表

无尘室工作人员管理名册

    无尘室资格测验卷(A)

    无尘室资格测验卷(B)

    无尘室资格测验卷(C)

    无尘室资格测验卷(D)

    无尘室温湿度监控表

    车间衣物领用申请单



6. 变更记录




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