无尘室测试范围介绍

文章来源:http://www.iwuchen.com/  2012年07月06日  点击数:5268

无尘室测试范围介绍


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凡是和无尘室环境控制有关的因素,都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前,业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议,以利测试进行。

  1. 待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
  2. 测试的目的
  3. 测试程序
  4. 使用仪器
  5. 测试报告撰写方式与内容
  6. 工期
      

在测试前,将以上项目定义清楚,可以使测试顺利进行,发现问题时也可以尽快排除,对业主和施工单位都有利。

IEST-0062有一个表说明测试项目,以及适用状态,具有相当参考价值表列如下。


IEST-RP-CC006.2 Table 1 

章节

测试项目

单一流向型

非单一流向型

混合型

6.1

风量与均匀度
风速与均匀度

1,2,3
1,2,3

1,2,3
OPT

1,2,3
OPT

6.2

滤网泄漏

1,2

1,2

1,2

6.3

洁净度

1,2,3

1,2,3

1,2,3

6.4

压力

1,2

1,2,3

1,2,3

6.5

平行度

1,2

N/A

OPT (1,2 only)

6.6

空间泄漏

1,2

1,2

1,2

6.7

恢复率

N/A

1,2

1,2

6.8

粒子沉降测试

1,2,3

1,2,3

1,2,3

6.9

照度

1,OPT(2,3)

1,OPT(2,3)

1,OPT (2,3)

6.10

噪音

1,2,3

1,2,3

1,2,3

6.11-6.13

温湿度

1,2,2
OPT

1,2,3
OPT

1,2,3
OPT

6.14

振动

OPT

OPT

OPT


测试的顺序没有硬性规定,但是仍旧存在某些比较理想的顺序


1:测试适用于As-built状态
2:测试适用于At-rest状态
3:测试适用于Operational状态 

N/A:代表该测试在该状态下?不适用?
OPT:代表该测试在该状态下为?选择性测试?,可以视制程需求而定


由上表可看出,风量测试〈使用气罩〉适用任何状态,因为不易受干扰。

风速量测,在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐,因为容易受干扰。当然这是IEST的建议,我们可以自行决定。

至于测试的项目选择,NEBB建议:依重要性分成三级,说明如下。


第一级〈Level I〉:第一级测试是所谓的主要测试,与洁净度直接有关的测试都属第一级,每个无尘室都应至少应做的测试。

第一级测试项目包括:

A.风速量测
B.风量量测
C.前两项的均匀度分析
D.滤网泄漏测试
E.洁净度测试
F.压力量测


第二级〈Level   II〉:第二级测试,虽然也是与洁净度与气流有关,但是只有在特殊情况下才需要进行。

A.气流平行度量测〈只适用层流型无尘室〉
B.空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉
C.恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉
D.粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉


第三级〈Level   III〉:第三级测试就与气流无关,都是属于环境因素。

A.照度与其均匀度
B.噪音测试
C.振动测试
D.温湿度测试

这里说明NEBB所要求无尘室性能测试的各项测试程序,当然这些程序是NEBB所认定的基本要求,业主可视状况自行修改。NEBB唯一的要求是,若是修改后的程序比较宽松,就不能说是符合NEBB标准。


原文来源:http://www.iwuchen.com/

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